阵列式气体传感器与嗅觉传感研究.pdfVIP

阵列式气体传感器与嗅觉传感 吴青海 361005 厦门龙虎山路697号301 摘要：本文介绍阵列式气体传感器在讯息社会的重要意义，介ga*qhl于制作阵列式的主要气体传感 器的原理和结构，国际电子鼻的主要生产厂家，以及阵列式气．体传感器的制作技术，阵列式气体传感器 和电子鼻技术的发展前景，最后简要介绍电子鼻技术的应用领域． 关键词：气体传感器阵列式电子鼻嗅觉的传感 1．引言 人类三大感观，视觉，听觉，嗅觉的传感，即把这些感觉变为电信号的问题，‘前两种感观的传感，前个 世纪已经得到很好的解决。但嗅觉的传感，到今天仍是大难题，科学界公认是本世纪要共同征服的领域。阵 列式气体传感器与电子鼻技术就是解决嗅觉传感的途径之一。 几乎所有动物，不论是高级，低级的，都具有对周围环境气味进行感知并作出适当反应的能力，就是嗅 觉。现代信息社会对气体，嗅觉探测的重要性不断地上升，成为不可没有的局面，比如工矿企业的危险、毒 性气体，包括矿井瓦斯爆炸，食品安全方面的肉类，海鲜，水，蔬菜等新鲜度，污染度的探测，毒酒，假酒 真伪鉴别。反恐，安全方面的生化毒气探测，毒品查缉，火箭，导弹发射燃料泄漏的监测，利用病人呼气作 无侵入性人体疾病的诊断等等都属气，嗅觉的传感问题，就这些足可以看出嗅觉传感的重要性，上述这些例 子仅仅是嗅觉传感的冰山一角。 电子鼻是一种模拟人类嗅觉器官的电子机器，其工作原理与嗅觉形成相似，包括1．气味分子被电子鼻中 的传感器阵列吸附，产生信号：2．信号经处理后成成一种特定的图谱，并传输到达主机存储器：3．在存储器 内这些图谱，经图象识别系统做出判，获得了所闻到的气味结果。 要用电子学方法，即电子鼻解决嗅觉的传感，首先要有高灵敏度气体传感器，但，光有气体传感器还是 无法实现人类嗅觉的传感，因为现在大多数单个气体传感器，都是“广谱”型，即对多种气体都敏感。只对 一种气，味分子有敏感响应，不受其他气体的干扰，即具有理想选择性能的气体传感器件实际上是不存在的。 难于相象，世上有千万种以上的气味，就有千万种以上的气体传感器可以用来探测它们。话说回来，对某种 气体有较灵敏的响应，对一些其它气体有不同程度上的敏感性，即“交叉响应”特性，正可以被用来作为电 子鼻的工作原理，只要把多种具有不同特性的气体传感器，比如说，有十个传感器组成阵列，就能弥补单个 传感器缺乏选择性的缺点，当这种阵列遇到某种特定气体时，就有十条输出曲线，不同的气体。这十条输出 曲线形成的图谱完全不一样，可以惟一代表这种特定气体。这就是电子鼻具有选择性探测气体的原理，所以 说气体传感器及组成阵列式是电子鼻的最为关键部件，也可以说是心脏部件。本文将主要介绍阵列式气体传 感器与电子鼻。 2．用于电子鼻的气体传感器 不是所有气体传感都可以做电子鼻的传感元件，只有那些能与IC，MEMS，薄膜等技术兼容的传感器制 造技术才可用于电子鼻的气体传感器。可用的主要传感器如下： (1)金属氧化物半导体(MOS)型传感器 体传感作用，是它们表面敏感层的导电能力受吸附气体的调制，当敏感层表面与空气接触时，空气中的氧分 子靠电子亲和力捕获敏感层表面上的自由电子，形成氧的负离子，表面温度升高时，吸附在表面的氧负离子 增多，显著提升半导体表面势墨的高度，使表面电阻增大。当与还原气体分子接触时，就与敏感层表面的吸 附氧发生反应，氧离子得到还原，表面回到原来的势垦状况，表面电阻降低，这就是MOS的气体传感原理。 38l 这种氧化物必须是由颗粒很小，即有很好多孔性的材料做成，遇见还原性气体时，表面电阻降低，当要 达到这个要求，这也能说明为什么MOS传感器需在较高的温度和气存在才能正常工作。掺入像Pt，Pd，Rh， Ni和ca等金属是使其对某些特定的气体起催化剂作用，以获得比其它气体更为显著的响应。不同气体发生 显著氧化／还原的温度不同。 (2)导体高分子传感器(cP) 所使用的材料是导电性高分子聚合物或引入导电性机制后成导电性的高分子。常用的聚合物是塞堂监、 鐾噻吩、吲哚和呋喃等一类家族或其混合物的派生，这些高分子有的本身就有导电性，或是通过对其掺杂而 获得