计算机辅助装调中调整变量的选择研讨.pdfVIP

计算机辅助装调中调整变量的选择研讨.pdf

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纪念马祖光院士全国光电子与光电信息技术学术研讨会论文集·哈尔滨2006 计算机辅助装调中调整变量的选择研究 刘剑峰,王莉,龙夫年 (1.哈尔滨工业大学空间光学工程研究中心;2.哈尔滨工业大学材料学院,哈尔滨工业大学哈尔滨150001) 摘要:调整变量的选择是计算机辅助装调的一个关键环节。研究了调整变量与失调量的求解、噪声对失调量的影响和机械 执行机构的可操作性之间的关系,提出了一种选择调整变量的方法。该方法对灵敏度矩阵进行分析,将调整变量按灵敏度大 小进行分类,得到不同组合灵敏度矩阵,来求解失调量。利用此方法,对离轴三镜系统进行模拟装调,结果表明,理论上只 需进行一次迭代,求解出的系统待调整量即可满足装调精度要求,调整后整个系统波像差的均方根值(RaMS)与理想状态 之差小于0.01x。这种方法不仅结果准确、收敛速度快,而且需要调整的自由变量少,可操作性强。 关键词:空间光学;计算机辅助装调:离轴三镜系统;失调量 of in onSelectionVariables Process Study Computer-AidedAlignment LIU Fu—nian Jian-feng,WANGLi,LONG Centrefor Institute ofMaterial,Harbin (1.Research SpaceOpticalEngineering;2.College ofTechnology,Harbin150001,) Abstract:Theselectionofvariablesisall in relations variables. importantstepcomputer-aidedalignmentprocess.Theamong solutions.noiseeffectonsolutionsandmachinestructure a∞studied.Amethodofselectionofvariablesis forward. accuracy put Basedonthe of of areclassifiedthe of andsolutionsarederived.A analysissensitivityvailables,variablesby magnitudesensitivity that the off-axisthree-mirrorissimulatedthismethod.Theresultsshowsolutionsaredeterminedtomeet of system by requirement a iterative differencebetweenthewavefrontRMS锄rorsbeforeandalR:cr iswithin accmacybysingle theoretically.The alignment 0.Ol^.Thismethodhasthe asfollows:aceura£e variablesand advantages results,rapidconvergence.fewer operation.

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