超高真空深低温工作的红外探测器窗口吸附物的特性分析研究.pdf

超高真空深低温工作的红外探测器窗臼吸附物的特性分析 刘大福 龚海梅 龚玮 (中国科学院上海技术物理研究所传感技术国家重点实验室 上海 200083) 摘要：用x射线光电子能谱、红外喇曼反射谱和红外透射谱，研究了在超高真空环境下，红 外擐测器在电老化一段时问后，其表面镀ZnS的Ge窗口材料表面的变化情况．对比没有经过电老化 和经过电老化两种探测器窗口的实验结果，表明探测器窗口上的吸附物可能来自真空腔内的易放气 部件，如连接导线的外皮． 关键词： InS；XPS；红外透射谱；红外探测器 1．引言 红外探测器的工作环境中，难免存在各种污染源，如连接导线等材料的内部气体，油脂和胶等， 这些都有可能对探测器窗口造成污染，使探测器窗口材料表面吸附一层沾污物．随着窗口表面吸附 量的增加，窗口材料的光学效率会下降，进而影响探测器的性能．通过研究超高真空、深低温环境 下红外探测器窗口表面的变化，可以为分析红外探测器在空间应用中的可靠性提供一定的技术信息． 电老化是预测、保证探测器可靠性，剔除具有潜在缺陷探测器的一个必要手段．电老化时探测 器被放置在一个温度为100K的超高真空(1．33xl旷Pa)环境中，器件至容器壁的引线为聚四氟乙 烯包皮铜线，共100多根，每根长约30cm。老化过程中器件通一恒定电流。经60天的电老化后． 在取出的探测器窗口表面观察到了一层吸附物质．相对探测器实际工作环境而言，老化环境要好一 些．因为环境简单，时问也相对比较短。为了确定探测器窗口表面污染物来源。我们通过X射线光 电子能谱(XPS)对老化前后的探测器窗口表面吸附物的化学成份及可能的价态做了分析，另外还 做了红外喇曼反射谱和红外透射谱实验，研究在红外谱段老化前后探测器窗口的变化． 2．实验 2．1实验样品 实验样品取自碲镉汞红外探测器窗口，器件窗口材料为锗(Ge)，厚度为1．0ram左右。为增加 窗口材料表面的抗反射性能，在Ge的上下表面各镀了一层厚度10#m左右的硫化锌(ZnS)增透膜。 为了作对比，样品一个取未经电老化的窗口．另一个取经∞天电老化后的窗口．图l和图2分别是 老化前后探测器窗口的表面形貌。 图1未经老化试验的样品表面 图2经电老化后的样品表面 们 2．2XPS能谱实验 子束缚能是284．6eV)进行修正。 2．3喇曼谱实验 喇曼谱实验是在JobinYvon 514．5nm线．采用背散射的几何配置，激发光入射方向垂直于样品表面。 2．4红外透射谱实验 红外透射谱仪是DIGILAB的FTS3500型中长波红外透射谱仪器．信号采集软件采用 WinIR-Pro．入射红外光垂直与样品表面，扫描次数32次，光谱分辨率4cmll。 3．结果和讨论 图3是红外探测器电老化结构示意图，电老化系统的真空部分由三级真空泵组成，分别是机械 泵、分子泵和离子泵，泵之间通过真空阀门连接．结合窗口表面的观察结果．可以排除离子泵对探 测器窗口表面污染的可能性，探测器窗口表面的吸附物主要来自真空腔内的易放气部件一连接导线。 图4是老化前后探攒8器窗口表面的XPS图，从谱图中可以看到样品表面各元素的XPS峰．表l 和表2分别是老化前后窗口表面的XPS各谱线结果。表3是用zn元素含量归一化后的结果． ■咖ErH科0啪 图3红外探测器电老化结构示意图 图4老化前后探测器窗口的XPS谱 表l和表2得到老化前后zn和S元素的价态和原子百分比基本没有变化，可以得知Zn和S主要以 另外。经60天电老化后的样品表面的C和O元素含量的增加比较明显，从表3的归一化结果可以 看到c元素含量增加了接近3倍，o元素增加了2倍多。 图5是老化前后探测器窗口表面的喇曼反射谱．从图中可以看出老化后窗1：3表面的碳原子含量 明显增加。表明老化过程中窗口表面吸附了一层含碳的物质，验证了XPS实验得到的C元素在老化 后明显增加的结果。电老化环境是在高真空环境中进行的．外部连接到真空室的主要是离子泵，离 子泵对样品污染的可能性很小，表面观察结果(图1、圈2)也验证了这一点．因此真空室内部潜在 的污染源有连接导线和抽真空前真空室内的空气成分． 图6是老化前后探测器窗口的红外透射谱，从图中可以看