对万能工具显微镜测量方法的一种改进.pdfVIP

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2018-04-07 发布于北京
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对万能工具显微镜测量方法的一种改进.pdf

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第35卷第6A期计量学报 V01．35．№6A 2014年12月 ACTAMETROLOGICASINICA doi：10．3969／j．issn．1000-1158．2014．z1．022 对万能工具显微镜测量方法的一种改进梁健同，常青 (工业和信息化部电子第五研究所，广东广州510610) 摘要：万能工具显微镜的影像法测量是广泛采用的一种测量手段，然而该方法的测量准确度受制于对应的平面坐标系中运动导轨直线度误差和标尺刻划误差，当测量系统的设计不符合阿贝原理时，其运动导轨的直线度误差将带来无法消除的阿贝误差，因此，合理设计测量系统的结构，有助于改善万能工具显微镜的测量准确度，并通过对测量方法的不确定度评估，获得理论的验证。通过激光干涉仪在万能工具显微镜上的应用，简述一种可以提高万能工具显微镜测量准确度的方法。关键词：计量学；影像法测量；激光干涉仪；准确度；导轨直线度；不确定度中图分类号：TB92 文献标识码：A 文章编号：1000—1158(2014)6A-0095-04 AnI ontheMethodfor the mprovement Measuring Tool Universal Microscope LIANG CHANG Jian-tong， Qing of andInformation InstituteofElectronics (TheMimstryIndustry Technology Fifth，GuangdongGuangzhou510610，China) tool measurementisa usedmeasurement the Abstract：Universal means，however microscopeimage widely this is tothe coordinate rail elTors measurementof method accuracy subjectcorrespondingplane systemmovingstraightness when isnot inconsistantwiththeAbbe andscalecharacterizationerror．Sothe system designed principle，itsstraightness errormotion will Abbeerrornotbe structureofthe guidebring eliminated．Therefore，reasonabledesign measuringsystem to themeasurementuniversaltool themeasurementmethod accuracy microscope，and uncertainty helpsimprov