干涉零光程差位置的五步测量法孙杰一.pdfVIP

第 14卷 第 l2期 2003年 l2月 Journalo|Optoelectronics·Laser Vol。14No。12 Dec。2003 白光干涉零光程差位置的五步测量法 孙 杰一 ，刘铁根 ，张 以谟 ，江俊峰 (天津大学现代光学仪器研究所 ，光 电子信息技术科学教育部重点实验室，天津 300072) 摘要 ：给 出了采用 5步法测量 自光干涉 中零光程差位 置 的理论推导 。提 出在测量 中以双光束干涉条纹 间距 的 1／4大小作为干涉光强空间采样 间隔；以被测点附近 5点测量数据作为一组基本数据来确定干 涉条纹的局部调制度 ；采用重心法确定干涉条纹调制度 的最大值位置 ，并 以此作为零光程差位置 。对不 同干涉光强分布公式生成 的模拟测量数据进行 了理论分析 ；对光 电测量系统 中的机械精度与光 电测量 精度对测量结果 的影响进行 了定量计算 。通过计算得到 ，本方法的最大零光程位置测量误差不超过 1／ 4干涉光 中心波长 。 关键词 ：干涉 ；光程差 ；精度分析 中图分类号 ：TN247 文献标识码 ：A 文章编号 ：1oo5一oo86(2oo3)12-1319—05 Five-stepM easurementM ethodforthePositionofZeroLightPathDifferencein aW hiteLightInterferingSystem SUN Jie ，LIU Tie-gen，ZHANG Yi—me，JIANG Jun—feng (KeyLaboratoryof0ptoelectronicsInformation Scienceand Technology，EMC，TheInstituteofOptoe— lectronicsandPrecisionInstrumentEngineering，TianjinUniversity，Tianjin300072，China) Abstract：Thetheory derive offive-step method forpositionmeasurementofzero lightpath difference in white lightinterferersystem wasde scribed．Thelocalmodulatino offringeswasgottenundertheconditino of onefourthofinterfererfringesperiodlengthasthesamplingintervalandthelightintensityatfivepo intsbe measurednearby asthe basic de ta The centrobaricmethod wasused to de termins the positino with the maximum modulatino valueoffringesandthe positionWSSusedasthepo intofzero lightpa价 difference In theory，the analogdataderivedfrom differentfclrmulaeofinterfereintensiyt wereanalyzedandtheeffectof mechanicaIprecisino andopto-electrno icaIme asurementanchorpo intprecisino inthe measurementsystem wasalsocalculated．Underthiscalculatino 。themaximum errorsof thismeasuring me thodjSl麟 than1／4 cneterwave Iength ofinterfererIight。 Keywords：interference；lightpathdiffe rence；precisino analysis