软X射线-真空紫外波段光谱光源研究.docVIP

软X射线-真空紫外波段光谱光源研究 　　光谱学与光谱分析软X射线真空紫外波段光谱光源研究陈波，尼启良，曹健林，李福田，陈星旦中国科学院长春光学精密机械与物理研究所，应用光学国家重点。 　　为使连续光谱辐射重复而稳定，氩弧以流动供气方式工作。来自气瓶的氩气纯度为99.99%，经气体净化器后纯度达99.999%；再经截止阀、微调阀、流量计及压强传感器进入氩弧光源，废氩经流量计、微调阀、截止阀和气体泵排放。 　　由于气体不断更新，因而降低了弧室及气体系统中空气和水蒸气杂质含量，使其发射的杂质谱线（如氧、氮、碳和氢等）强度减弱。弧室内压强一般在0.1~ 2MPa，由压强传感器监测，准确度为*0. 1%左右。有差分泵单元时，氩气入口流量为4.9Lmin-1，出口流量为0. 3Lmin，其余由差分泵单元排放。无差分泵单元时，出口和入口流量同为0.3L氩弧光源最大工作电流40A，工作电压53V，由高精度直流稳流电源供电，电流稳定度达0.02%*h-1.光源光谱辐射稳定性和重复性优于*0.为得到较高的等离子体温度和电子密度产生黑体谱线，本研宄所特别研制了10kWf大功率壁稳氩弧光源；为满足实验室一般应用还研制了普及型1kWf氩弧光源；从而形成了1，2.5和10kW「的壁稳氩弧紫外-真空紫外光源系列，适合于各种不同的应用目的。 　　2软X射线潘宁气体放电光源131软X射线潘宁光源由阴极、阳极和永久磁铁3部分组成，结构如所示。相对放置的两个阴极尺寸形状一致，各包括1个由铜合金制成筒状的阴极座和1个由高导磁率合金制成的圆形盖板，阴极座和盖板中间放置一块永久磁铁。 　　阴极固定在阴极座上，可更换。阴极直径020mm，厚8mm，材料为铝合金或镁合金。当工作电流为500mA时，溅射率为0.8mmh-1，因此在500mA大电流工作时，阴极寿命约为8~ 10h.阳极呈圆环状，共两片，由铜合金制成，在竖直方向形成直径为20mm的放电通道。利用高导磁材料制成的紧压螺栓不但将阴极-阳极-阴极紧固密封，而且又在主放电室外形成封闭磁路以防止漏磁。测试表明，当磁铁间隙为34mm时，放电通道中心磁感应强度可达0. 1T.为防止阴极、阳极、磁铁过热，阴极和阳极分别通水冷却，水流量约为2LMmin-1.潘宁光源由一台直流稳流电源供电，最高电压2000V，最大电流500mA，电流稳定性优于*0.5%与通常的气体放电不同，潘宁放电中在放电通道的轴向施加了一个很强的均匀磁场。这样，从阴极发出的电子在飞向阳极的过程中被磁场约束，在电场和磁场的共同作用下作滚轮线运动。电子的空间轨道大大加长，与气体分子碰撞电离、碰撞激发几率也相应增加。放电形成的正离子打到阴极上，形成阴极物质的溅射，在放电区域中心形成的等离子体中产生工作气体和电极材料的高次离子谱线。给出了Penning光源采用铝电极的软X射线-真空紫外光谱分布图。 　　可以看出10nm以上在连续辐射的背景上根据所用工作气体和电极材料的不同，出现了为数众多的强的高次离子谱线。 　　光谱图由McPherson247掠入射真空紫外单色/摄谱仪获得。 　　潘宁光源光强稳定性由工作气压稳定性、电极表面状况及电源稳定性所制约。测试结果表明本所研制的潘宁光源光谱辐射稳定性可达5%h-*RMS）。 　　3双等离子体光源41双等离子体光源由热阴极、障板电极及阳极等3部分构成，结构如所示。3块轴向磁化的环状钡铁氧体用来产生磁场，表面磁感应强度约为0.1T.磁流由一磁极发出，经前紧固法兰和光阑体后，越过磁隙再经障板电板和后紧固法兰回到另一磁极。为保证障板电极与光阑体之间磁流比较集中，光栏体、前紧固法兰、障板电极、后紧固法兰均由导磁性能较好的纯铁制成。采用氧化物灯丝作阴极，灯丝电流25A，由直流稳流电源加热，电流稳定性优于0.丝使用前做活化处理，提高了电子发射效率。放电电流3~ 5A，也由直流稳流电源通过分压电阻提供。电流稳定性优于0.05%’h-、阴、阳极间电压降约为40~ 50V.光源采用水冷，水流量为2卜min-1.纯度为99.99%的氩或氦工作气体经双级微调阀减压后进入光源，工作气压约为4~20Pa.双等离子体光源中既应用了机械约束，又应用了磁场约束。热阴极发射的电子在电场作用下使工作气体电离，并在热阴极和障板电极间形成无任何约束的自由等离子体。与此同时，未被热化的另一部分电子继续向阳极运动，并因障板电极孔径突然减小而受到箍缩。 　　给出了双等离子体光源用真空紫外干板摄取的光谱子和离子谱线。观测到波长最短的是Hell测试是在McPherson247掠入射真空紫外摄谱/单色仪上进行的。 　　双等离子体光源光谱辐射稳定性受工作气压、放电电流和几何结构的影响。测试表明，我们研制的双等离子体光源光谱辐射稳定性优于3%.h-、4真空紫外空阴极光源151真空紫外空