电子薄膜技术幻灯片.ppt

绪论 * ⑧? 用ZnO、AlN等薄膜制成的声表面波滤波器。 ⑨? 磁记录薄膜与薄膜磁头 高质量和录象的磁性材料薄膜录音带与录象带； 计算机数据存储的CoCrTa、CoCrNi等的薄膜软盘和硬盘； 垂直磁记录中FeSiAl薄膜磁头等。 ⑩?静电复印鼓用Se-Te、SeTeAs合金薄膜及非晶硅薄膜。 绪论 * 铁电存储器 绪论 * 第一堂课主要内容 课程情况介绍 课程考核方式 薄膜材料的定义 薄膜技术的发展 课程教学内容 绪论 * 淀积法 渗入法 化合法、扩散法、离子注入法 气相法 液相法 化学镀、电镀、Sol-Gel、MOD、液相外延、水热法、喷雾热解、喷雾水解、LB膜 PVD CVD 常压CVD、低压CVD、 金属有机物CVD、 等离子体CVD、 光CVD、热丝CVD 真空蒸发 Evaperation 溅射 Sputtering 离子镀 Ion plating 薄膜制备方法的分类 绪论 * 第一章 真空技术基础 第二章 薄膜的物理气相沉积（I）- 蒸发法 第三章 薄膜的物理气相沉积（II）－－溅射法及 其他PVD方法 第四章 薄膜的化学气相沉积 第五章 化学溶液沉积法制备薄膜 第六章 薄膜生长过程和薄膜结构 第七章 薄膜材料的表征方法 第八章 薄膜材料及其应用 课程教学内容 绪论 * YBCO 薄膜形貌 绪论 * 小结 在材料科学的各分支中，薄膜材料科学发展的地位极为重要。 通过本课程的学习，认识薄膜材料应用的必要性，掌握薄膜的制备方法、生长机理、性能表征等。 几点希望： 意见要求及时反馈 认真听讲、完成作业、积极思考、踊跃发言 严谨求实、诚信正直 师生共同努力、共同进步，圆满愉快地完成本课程的教学！ 绪论 * * * * * * * * * * * * * * * * * * * 绪论 * 电子薄膜技术 主讲教师：徐进 办公室：F410 电话：邮箱：xujin@neusoft.edu.cn 绪论 * 第一堂课主要内容 课程情况介绍 课程考核方式 薄膜材料的定义 薄膜技术的发展 课程教学内容 绪论 * 课程性质: 微电子制造方向专业课 课程特点: 内容丰富、概念性记忆性强；理论与实践 相结合 通过对本课程的学习，能够掌握电子薄膜的主要制 备技术及相关知识，为从事微电子、固体电子薄膜 及相关领域的研究、设计和生产打下基础。 课 程 简 介 绪论 * 总学时：48学时 周学时：4学时 课时安排：1-12周；周一5-6节、周四 1-2节 学 分：3学分 课外学时：12学时（6次课下作业） 课 程 概 况 绪论 * 教材： 《薄膜材料制备原理、技术及应用》 唐伟忠 著，冶金工业出版社，2003 参考书： 《薄膜技术与薄膜材料》田民波，清华大学出版社 《薄膜材料与薄膜技术》郑伟涛，化学工业出版社 《半导体薄膜技术与物理》叶志镇等，浙江大学出版社 《Material Science of Thin Films－Deposition Structure》 M. Ohring，世图影印版 教材及参考书 绪论 * 第一堂课主要内容 课程情况介绍 课程考核方式 薄膜材料的定义 薄膜技术的发展 课程教学内容 绪论 * 1、上课时必须将手机关机或静音； 2、上课不允许讲话，不允许做与本课程无关的事； 3、有事提前向老师请假（开假条），课上随机点名； 4、上课请杜绝睡觉； 5、如果出现破坏教学恶劣的行为立即上报系或者学校给予处理； 6、上课不需要带电脑！ 7、请每人准备一个作业本！（笔记） 课堂要求 希望： 积极思考、踊跃发言 意见要求及时反馈 绪论 * 类别 考核项目 考核主要内容 所占权重 形成性考核 平时成绩 日常表现：迟到、旷课、纪律、态度、协作、交流 迟到、早退一次扣2分，旷课一次扣4分。积极思考，踊跃回答问题，给予加分 - 作业 满分为30分。共6次书面作业，每次作业满分为5分。 30% 期中考试 满分为20分。考察范围：第1-4章知识点。限制性开卷考试 20% 终结性考核 期末考试 满分为100分。考察范围：课程全部知识点。限制性开卷考试！ 50% 成绩评定 作业成绩按作业上交的数量和质量进行计分。 考试时间： 期中：第7周；期末：第14或15周学院组织考试 绪论 * 学习方法：以教材和课件内容为主，做好笔记，认真完成作业，养成良好的学习习惯：预习和复习。 考试范围：教材相应内容 + 课件内容 + 部分补充知识 ！限制性开卷考试：每人只允许带一单张A4的辅助材料，要求全部