四氯化硅氢化进展.doc

四氯化硅氢化进展 葛士彬* 杨春晖 周大荣2 张 磊(1. 哈尔滨工业大学化工学院，哈尔滨 150001) 摘要 综述了四氯化硅氢化技术的进展及分类，主要有冷氢化，热氢化，氯氢化，高压等离子体还原，催化氢化等五种技术，其中催化氢化技术具有能耗低，成本低，产率高的特点，是目前最具有研究价值的技术。 关键词 四氯化硅，氢化，三氯氢硅，催化氢化，多晶硅 Progress on hydrogenation of silicon tetrachloride Ge Shibin Yang Chunhui1 Zhou Darong2 Zhang Lei1 (1. School of Chemical Engineering Technology, Harbin Institute of Technology, Harbin 150001; 2. Wuxi Zhong Cai Technology Co., Ltd, Wuxi 214183) Abstract This paper reviews the present status and the types of silicon tetrachloride hydrogenation technology. There are cold hydrogenation, hot hydrogenation, chlorine hydrogenation, high pressure plasma reduction, catalytic hydrogenation, such as five kinds of technologies, including catalytic hydrogenation technology with low energy consumption, low cost, high yield characteristics, is the most research value of technology. Key words silicon tetrachloride, hydrogenation, trichlorosilane, catalytic hydrogenation, polysilicon 随着地球矿物资源的加速消耗，人类能源危机不断加重，中国目前正大力提倡低碳经济，努力开发新能源、绿色能源、清洁能源，而太阳能作为一种绿色、清洁的能源，它的利用与开发对减少温室气体的排放及低碳经济模式的发展具有重大意义。 目前，全球光伏产业用量最大的太阳能电池仍是硅太阳能电池，而单晶硅太阳能电池转换效率高、技术较为成熟，在大规模应用和工业生产中仍占据主导地位，太阳能级多晶硅作为其生产原料，需求量很大，2010年的国内多晶硅产量预计会超过30000t。国内生产多晶硅的企业几乎都采用改良的西门子法[1]，在生产过程中会产生大量的副产物—四氯化硅(生产1t多晶硅会产生15-20t的四氯化硅，如果四氯化硅得不到很好的处置，会对环境造成极大的危害，而四氯化硅的处理特别是氢化技术几乎都被国外企业所垄断，致使四氯化硅的氢化的成本很高，国内多晶硅企业由于成本问题在建设过程中很少有氢化处理线，以致多晶硅行业被冠以高污染、高成本行业。因此，妥善的处理和利用四氯化硅，使之变废为宝，不仅对改善环境有重大意义，更对多晶硅企业的可持续发展影响深远。 本文详细介绍了四氯化硅氢化的技术的发展过程，各种氢化技术的存在的问题，以及四氯化硅氢化的发展方向。 四氯化硅氢化技术的出现 1945年，美国的通用电器公司(General Electric Company)的Hurd等[2]发现，将四氯化硅和氢气的混合气在400℃时通过20目的铝颗粒后，产物中出现了25%的三氯氢硅，由此揭开了四氯化硅氢化的序幕。 四氯化硅氢化技术的发展 2.1 冷氢化技术 冷氢化技术最早由美国UCC公司首先开发应用，是指反应温度较低、存在硅粉并且加入催化剂来对四氯化硅进行氢化的技术，反应方程式如下： 3SiCl4+Si+2H2 → 4SiHCl3 Wagner等[3]将H2与SiCl4摩尔比为3-4:1的混合气体，在400-525℃，500-1500PSI时通过固定床反应器，10%-25%wt的Cu或者Ni作为催化剂，催化剂在硅粉的表面与硅形成合金，发现冷凝的产品中有16%wt的三氯氢硅。Bulan等[4]使用了CuCl及Fe作为催化剂，H2与SiCl4的摩尔比为1.85:1，反应温度为500℃，气体流速0.41m/s，保留时间11.8s，使用CuCl为催化剂时三氯氢硅产率为12.8%wt，Fe为催化剂时产率为10.8%wt。冷氢化的反应是个可逆过程，操作条件复杂，三氯氢硅产率较低，反应压力较高，