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ESD技术 产品的移动、摩擦及空气的流动均可能产生上万伏高压电荷，形成静电。在所有的半导体生产领域，由于静电的负面效应，使得保持高水准的产品质量和成品率变得更加困难。缺少静电控制，将导致微粒污染，静电放电损坏和设备故障。随着电子产业向高度集成化、精密化的发展，防静电技术成为电子制造业重点关注的技术之一。在医药，化工，军工行业对防静电的需求也越来越多。 防静电标识 电子制程方案 防静电技术 防静电区域警示胶带 防静电警示牌 静电消除剂 电子制程方案 防静电技术 除了增加空气湿度来控制静电外，也可以给产品表面加湿增加导电性。如：静电消除剂。 喷涂或浸渍于塑料制品，绝缘材料、化纤植物表面，即能起到消除静电，并且还有防尘，去污之功效。 防静电工具 电子制程方案 防静电技术 防静电螺丝批 防静电真空吸嘴 防静电工具 电子制程方案 防静电技术 防静电毛刷 防静电镊子 静电消除器(离子风机) 电子制程方案 防静电技术 静电消除器，系将高压电流施加于针状电极，藉由电极与接地面间的电晕放电产生离子，利用该离子对带电物体进行除电. 目前市售静电消除器之放电模式: * 直流式(DC)静电消除器 * 交流式(AC)静电消除器 直流式(DC)静电消除器 电子制程方案 防静电技术 原理:在正(负)之专用电极针施加直流高压电，使电极针产生正(负)离子。 优点：(1)产生离子量较多。 (2)除电时间较短(即除电时间快)。 缺点：(1)可能会有“逆带电”状况发生。 (2)离子平衡(ION BALANCE)不稳定。 直流式(DC)放电图标 电子制程方案 防静电技术 正极直流电 负极直流电 直流高压电(约3kV以上) 直流式(DC)除电仿真情形 电子制程方案 防静电技术 Step 1 .由于带正电吸引了负离子 (进行3个负离子的中和) Step 2.在此步骤中进行一个负离子的中和，使对象物变成 0 V Step 3. 对象物变成 0 V后，由于继续供应负离子，因此变成带负电 – 即所谓“逆带电” 交流式(AC)静电消除器 电子制程方案 防静电技术 原理:对电极针施加交流电压，由电极针交互产生正负离子，一般系使用50Hz或60Hz的交流电源，使正负离子以50Hz或60Hz 的频率交互产生。 优点:(1)离子平衡较佳(ION BALANCE)。 (2)进行除电时无需顾及带电的极性。 缺点:离子产生量较少。 交流式(AC)静电消除器 电子制程方案 防静电技术 交流电压与正负离子产生的情形 S 施加電壓(V) 0 產生正離子 產生負離子 +2kV -2kV 交流式(AC)静电消除器 电子制程方案 防静电技术 Step 1.同性相斥；异性相吸(进行2个负离子的除电) Step 2.在此步骤中进行一个负离子的除电。 Step 3.在此步骤中进行一个负离子的除电。 静电除去装置类型 电子制程方案 防静电技术 风枪型 风扇型 风棒型 。 ??????????????????????????????????????????????????????????????????????????????? ???????????????????????????????????????????????????? 静电除去装置类型 电子制程方案 防静电技术 扩展型 噴嘴型 静电除去装置类型 电子制程方案 防静电技术 静电消除器放电方式比较表 电子制程方案 防静电技术 离帶电物50mm 离帶電物50mm 良 不可 不可 良 良 良 良 優 量測距离 高速对应 近距离 远距离 良 良 优 良 除 电性能 內藏高压电源不需高压配线 內藏高压电源但須高压配線 內藏高压电源不需高压配线 內藏高压电源不需高压配线 高压配线 小而轻 中型略重 小而轻 小而轻 形狀 1支放电针交互产生正負电荷 1支放电针交互产生正負电荷 放电针(+、-) 交互产生 放电针(+、-) 连续放电 电荷产生 方式 高周波 2~4kV 高周波 20~80