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PA本部关于半导体静电知识和对策 第一部分 静电基础知识 静电的产生和带电。 静电放电的原因及产生的破坏。 静电产生的间接原因。 静电放电 现象以及静电过激反应。 静电的产生和带电 导体的带电原因（1） 导体带电的原因（2） 导体带电的原因（3）-人体 导体带电的原因（4） 静电放电的原因 半导体被静电破坏的事例 带电的导体 发热破坏的事例 静电破坏的间接原因 静电放电现象 （ESD和EOS） ESD破坏的事例 EOS破坏的事例 静電的危害事例 高耐压IC破坏的事例 第二部分 静电量工程内的区域的要求、划分及表示。 针对人、物、部品、设备所实施的静电对策。 静电量工程内的区域划分 1、静电管理区域水平1区。 A：静电带电压在100V以下管理的区域；与电子部品直接接触或有可能接触的工程。 B：高耐压IC或基板取放工作相关的有可能的工程。 C：有客户指定或指示书指定的个别工程。 静电管理水平1区的要求事项 1、作业员的要求： 2、作业环境方面： 3、部品放置盒、捆包材 2、静电管理区域水平2区。 A：静电带电压在500V以下管理的区域； 静电管理水平2区的要求事项 静电区域的表示 水平1区和水平2区的标识 针对人实施的静电对策 静电带的点检方法 着装示范 静电100V以下的区域禁止配戴手表、手链，会刮伤部品产生静电 在进入水平1区域时注意事项 针对管理1区生产线物、部品、设备静电要求（例） 生产线冶工具各种物品带电量测试（例） 。 2、对指定测试点定期点检 目前生产过程中存在的一些不良事例 1、无论是何种物质，一旦物质与物质接触，必然会产生静电 。 2、在强大的静电干扰下，脆弱的半导体（IC）极易被破坏,内部回路破损的隐患存在,因此大家如果没有实施好静电对策时,生产的产品可能会在客户处或市场上出现品质问题,从而失去了客户的信赖。 3、希望大家都行动起来，自觉遵守和维护好静电防护规定。同时美化我们的工作环境。 表带与基板接触，静电发生！危险！ 1，在指定的入口进入生产线。 2、紧握除静电棒2秒钟以上，方可进入生产线。 除电棒 1、在指定测试点测定带电量 目前针对大金机种进行日日点检 基板重叠放置 回流炉后基板重叠，碰撞。欠品发生容易。 IC包装没有使用防静电措施。 口出线被压在箱外， 容易产生变形、伤。 没有静电防护措施，而且异物混入、伤极易发生。 总结 * * 物体内正负电子数不相等时会产生静电 1、固体产生静电方式: a.、接触，摩擦 ， 剥离； b、间接地静电诱导； c、阳离子，阴离子附着； 2、液体产生静电的方式： a、液面间的相对运动； 摩擦，接着剥离时产生静电 导体：（IC，基板类，人体，工具类） 绝缘体：（塑料类） 放电危险 诱发导体的静电 IC摩擦带电的事例 导体靠近带电 物体时会带电 带电物体附近 的IC,基板,人 体,工具类。 带电和放电的危险 静电诱导带电的事例（IC） 当没有带电的人坐在带电的椅子上时，人体会带电 通过充电使IC带电 与地没有接触的导体接触时会带电 在放电的同时带电 IC、者基板等 其他导体 放电 接近 电压差 静电放电 IC集成电路大电流通过 发热、过电压、热电子 放电的能量在局部集中 局部发热 温度达到熔点时 熔化 相对湿度要求：40%~60%之间，从上表得知，相对湿度 低的场合，静电问题的发生增加，在冬季空气特别干燥， 好使用加湿机湿度低，最保持湿度。 ESD（静电放电） 小容量导体、晶体管的放电 热量小，产生微小的破坏 EOS（静电过激反应） 因各种各样的原因发生 热量大，产生大的破坏 分离层短路 排水管、水源间短路 门酸化膜的针孔 ESD破坏一般在没有SEM的情况下观察不到。 （大多数的光学显微镜不能观察） 树脂烧付 铝线熔化 EOS破坏在光学显微镜下很容易观察到（静电以外原因的破坏） 铝线烧毁 异常发热部上面的配线被烧毁 在石化工业中静电放电多次 使汽油着火爆炸事故 静电超过150V时，该IC内部被击伤。人体的带电量在湿度较低的条件下具有1000V以上静电 目前部分空调马达使用该类IC，最近对大金公司立上机种DR8938-542-G使用该类高耐压IC。 1、带有静电带 2、进入该区域时须使用除电棒 3、穿有防静电的静电鞋 1、地面防静电皮的使用。 2、治工具、设备等使用防静电的锡薄。 3、设备接地预防。 4、作业台防静电皮的使用。 1、部品盒、架采用防静电材料。 2、超过100V的地方导电性薄膜。 3、采用具有导电性的容器。 4、捆包须采用防静电的泡胶。 1、带有静电带 2、设备接地预防。 3、使用防静电的锡薄。 4