dyfept合金薄膜的制备 结构及磁性能研究word格式论文.docxVIP

摘 要本文采用磁控溅射法制备了 Fe/Pt 多层膜、Dy/Pt 多层膜和 Dy/Fe/Pt 多层膜，然 后通过真空热处理，成功制备了 FePt、Dy-Pt 和 Dy-FePt 合金薄膜。利用 X 射线衍射、 扫描电镜、电子探针 X 射线能谱研究了多层膜退火后的相结构、成份和相转变，用 振动样品磁强计测量了所制备的样品的磁性，并对影响磁性能的各种因素进行了分析 探讨。在对 Pt 缓冲层厚度的研究中发现，随着 Pt 缓冲层厚度(t≦8.6nm)的增加，FePt 合金薄膜的有序化温度明显降低，晶粒尺寸逐渐减小；薄膜样品点阵常数 c/a 的比值 逐渐减小，有序度参数 S 逐渐增大；同时样品的矫顽力也随着缓冲层厚度的增加而增 大，在 425℃退火的样品，其矫顽力由缓冲层厚度 t=0 时的 398 kA/m 增加到 t = 8.6nm 时的 523 kA/m （接近无缓冲层样品在 500℃ 退 火 后 的 值 ）， 平 均 变 化 率 为 14.53kA/m/nm，有效地降低了样品的退火温度；与此同时，剩磁比逐渐减小，从 0.68 减少到 0.56。在对 Fe50-0.5xPt50-0.5xDyx(X=0,0.5,1.0,1.5,2.0)合金薄膜的研究中发现，加入的 Dy 原 子与 FePt 合金薄膜形成了固溶体，占据了部分 Fe 或 Pt 原子的位置，导致合金晶格 常数增大；同时随着 Dy 含量的增加，FCT 结构的 FePt 合金的平均晶粒尺寸明显减 小；Dy 的添加能够显著的抑制晶粒生长，起到细化晶粒的作用，且 Dy 含量越多， 阻碍晶粒生长的作用就越明显，晶粒细化效果就越好。合金薄膜的矫顽力 Hc 随着 Dy 含量的增加而提高，当 Dy 含量增加到 1.5at.%，达到最大值，Hc=903KA/m，然 后随着 Dy 含量的进一步增加，薄膜的矫顽力发生明显降低。对于 Dy 含量为 1.5at.% 样品在不同退火时间的研究，我们发现随着退火时间的加大，样品的矫顽力也随之几 乎呈直线增大，在退火时间为 200 小时后达到最大。在对 Dy-Pt 薄膜的研究中发现，溅射态 Dy/Pt 多层膜具有良好的周期性的层状结 构。在研究 DyPt2 合金薄膜时发现，当退火温度为 300?350℃时，在 Dy/Pt 薄膜中先 后形成 DyPt 和 DyPt2 化合物，当退火温度为 400℃时，又形成了 DyPt3 化合物，出现 DyPt、DyPt2 和 DyPt3 三相共存。当温度达到 500℃时，在薄膜中发生合成反应： DyPt+DyPt3→2DyPt2。当薄膜在 500℃退火 1 小时后，薄膜中的化合物 DyPt 和 DyPt3 已完全转变成 DyPt2；在研究 Dy3Pt4 合金薄膜时发现，样品在 400℃退火 1 小时后形 成了 Dy3Pt4 化合物，而且具有明显地沿[211]晶面的择优生长，在 550℃退火 1 小时后 发生分解反应：Dy3Pt4→2DyPt+ DyPt2，出现 DyPt、DyPt2、Dy3Pt4 三相共存，在 550℃ 退火 7 天后 Dy3Pt4 完全分解成为 DyPt、DyPt2。I关键词：多层膜；合金薄膜；相结构；相转变；磁性能；*本文为国家自然科学基金50661002）资助项目AbstractThe multilayer films of Fe/Pt, Dy/Pt and Dy/Fe/Pt have been deposited by DC magnetron sputtering, and then the FePt Dy-Pt and Dy-FePt alloy films have been composited by annealing under high vacuum environment. The phase structure, composition, phase transformation and magnetic properties of these films were investigated by XRD, SEM, EDAX and magnetic measurement techniques. The influencing factors of magnetic properties have been also discussed in this paper.In the research of the thickness of Pt buffer-layer, it was found that: the temperature of the phase transition from disorder to order of FePt alloy f