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彩色滤光片制程中显影液残留缺陷改善 　　摘 要：从生产角度分析了彩色滤光片中液晶间隔柱制造过程中遇到的显影液残留缺陷，通过EDS分析、机台比对等多种手法，明确确定了不良缺陷发生的原因，并通过多组实验方法的对比结果，找出了控制显影液残留的最佳方法。 　　关键词： 彩色滤光片；液晶间隔柱；EDS分析 　　中图分类号：TN141 文献标识码：B 　　 　　The Improvement of PS Remains Defect in CF Process 　　 　　REN Shu-ming1,2, GUO Xiao-jun1, FAN Gang-hong2 　　(1. School of Electronic Information and Electrical Engineering, Shanghai Jiao Tong University, Shanghai 200030, China; 2. SVA-FUJIFILM Opto-Electronic Materials Co., Ltd., Shanghai 201108, China) 　　 　　Abstract: According to mass production, the PS Remains Defect in CF Process has been analyzed. By EDS analysis, machine comparison and other techniques, the causes of PS Remains Defect has been studied. Then through multi-group comparison of the results of experimental methods, we find the best way to control the PS Remains Defect. 　　Keywords: color filter; photo space(ps); EDS analysis 　　 　　引 言 　　 　　 目前，平板显示已经成为显示产业的主角，其中最成功的为TFT-LCD显示技术，它具有功耗低、外形薄、重量轻等特征，已占平板电视销量的80%以上[1]。而彩色滤光片占TFT-LCD所有制造成本的20%以上，高品质的彩色滤光片对TFT-LCD的色彩表现具有决定性的影响[2]，所以保证彩色滤光片的合格率关系到公司的竞争力和利益。我们研究了显影液残留现象，研究了其产生的原因，通过多组实验结果，提出了改善方案，提高了彩色滤光片的合格率。 　　 　　1 显影液残留 　　 　　 液晶间隔柱，简称PS，其工序是彩色滤光片工艺中最后一道步骤，它的作用是在将彩色滤光片基板和TFT基板结合在一起时控制液晶层的厚度，并使保持两基板的平行[3]（如图1所示）。 　　 在彩色滤光片液晶间隔柱制造过程的在线微观检查中发现有液滴状缺陷，反射光可见，透射光不可见（如图2所示），其发生率在10%左右，该不良的高发大大影响了产品的良率，对公司的利益造成了影响。 　　2 分析与实验 　　 　　2.1 调查 　　 由于缺陷主要表现为液滴状，主要怀疑为显影机造成，通过EDS分析显影液残留成份与PD、CD及SD段显影液成份做对比，发现残留与CD、SD段显影液成份接近，由此分析缺陷产生的主要原因是由于PS显影机中显影液未被洗净，残留在基板上造成的（如图3所示）。 　　 　　2.2 工程改善实验 　　 针对显影机中显影液残留的情况，提出了以下几个实验。 　　 （1） 缺陷异常时延长SD段显影时间，更换显影Filter。PS1产线2011年4月8日采取了更换CD段过滤器，4月9日采取了更换SD段过滤器方法，结论：无明显效果。PS2产线4月4日采取了SD段显影时间由47s延长到49s的方法，结论：无明显效果。该措施无效（如图4所示）。 　　 （2） 清洁显影机和按照一定生产数量进行Flushing。Flushing是指显影机在无生产状态时，用显影液与纯水在一段时间内对显影机进行冲洗，以达到将残留在机台内的显影液冲洗掉的效果。缺陷异常时进行清机和Flushing，从实际来看，该措施有效（如图5所示）。但PS1产线在累计生产17K后，该措施实施后没有明显效果。 　　 在之后的生产中采用显影机待机状态进行Flushing。禁止PS显影机处于停机状态，在待机状态对显影机做Flushing。采取该措施后，PSR突发异常大于10%的情况没有再发生（如图6所示），证明该措施有一定的效果。 　　 其中分别采用了改变Flushing周期、使用不同显影液Flushing的实验。 　　 （1） 改