非均匀沟道dmos基本参数及其辐照理论的分析-analysis of the basic parameters of dmos with nonuniform channel and its irradiation theory.docx

摘要摘要非均匀沟运DMOS(DiffusedMetal伽Oxìde-Semiconductor)基本特性的研究是新一代高压功率MOS器件和集成电路的重要新领域一一智能功率集成电路研究的基础。本文对非均匀沟道DMOS的基本参数及其辐照理论进行了深入研究。在国际上首次提出微米级和深亚微米级非均匀沟道DMOS阙值电压模型和辐照阂值电压、迁移率模型及单粒子辐照瞬态响应模型。理论研究和模型的提出为下一代功率器件和电路的研究奠定良好的基础。主要研究成果如下:提出非均匀沟道DMOS二维阙值电压模型。它包含微米和深亚微米级DMOS阙值咆压模型。基于非均匀沟道杂质的二维分布，求解Poisson方程获得沟道耗尽层宽度的变化声计算沟逼中二维耗尽层电荷总量#给出微米级DMOS阙值电压解析式。计及沟道区杂质的二维非均匀分布、平衡态能级对沟道各点表面势的影响和栅电容的边缘效应，给出深亚擞米DMOS的阂傻电压二维解析式。借助二维仿真器MEDICI给出微米和深亚微米DMOS阙值电压的数值解，结果表明步解析值与实验结果和数值解吻合。还给出了沟道表面扩散浓度在2.0xl016cm-3到1O.OxlOl6cmA3范围内微米级DMOS器件的阙值电压的简明计算式e提出非均匀沟道DMOS辐照迁移率和阙值电压模型。提出与UHydrogenIonTransp侃相关的界面态产生模型。该界面态产生模型能较好的阐述现今电离辐照下界面态产生的过程。基于沟道杂质的非均匀分布，借助镜像法导出非均匀沟道辐照正空间电荷和沟道中电离杂质的二维场及其作用，给出非均匀沟道DMOS器件辐照正空间电荷与沟道杂质的二维互作用势。同时求解Poisson方程F分别给出非均匀N沟和P沟DMOS的辐照迁移率表示式和辐照、正空间电荷阙值电压表示式。非均匀沟道DMOS辐照iE空间电荷迂移率模型和辐熙、正空间电荷阀值电压模型的解析值与二维仿真器MEDICI数值值吻合。DMOS和常规MOS的辐熙、迁移率、辐照阙值电压的解析值与文献实验数据一致。提出非均匀沟道DMOS单粒子辐照的瞬态响应模型q基于单粒子辐照的等离子体输运机理?借助对横向高压DMOS的关态和开态的不同能量粒子辐照瞬态响应的二维数值分析F获得在双结、单结和无结情况下的瞬态响应特性。结果表明声横向高压DMOS的开态漏端峰值电流比关态的漏端峰值电流小，且漏端峰值电流和峰值电流出现的时间随入射粒子能量的增大而增加。同时声提出单粒子辐照临界能量的概念，给出临界能量的经验解析式。基于上述模型，实验研究了SOI(SilicononInsulator)非均匀沟道DMOS器IT科技大学博士论文件的功率转换特性。DMOS器件瞬态特性的上电响应为:首先，衬底电流14随时间增加而增大直至衬底刚形成耗尽电容:其次，衬底耗尽过程:随耗尽层的展宽变小，总串联电容放电，变小，由挺尽电容与表面势的函数关系，这一过程非常短暂:衬底反型后，耗尽层不变，人逐渐增大直至漏端电压不再变化为止。在功率转换电路方面，简单介绍了以SOI为基的器件电路模型参数提取、版图设计、投片工艺以及实验结果。关键词:非均匀沟道DMOS，基本参数，电离辐照，单粒子辐照，瞬态响应11ABSTRACTABSTRACTResearchingthenon-uniformchannelDMOSisthebasicknowledgeofthenewgenerationhighvoltagepowerMOSdevicesandtheimportantdomainoftheIC一一-smartpowerICs.Thisdissertatíoninvestigatesthebasicparametersandtheradiat?ontheory0fnon咀uniformchannelDMOS.The由resholdvoltagemodelofmicronanddeepsub-micronnon-unifonnchannelDMOS，theradiationthresholdvoltagemodel，theradiationmobílitymodelandthetransíentresponsemodelofsing1eíonradìationareinternationallyproposedforthefirsttìme.Theorystudyandmodelconstitutionwouldestablishfoundationofthenextgenerationpowerdevicesandpow町circuits.Theauthorsmaincontributionsareoutlinedasfollowing:The2-Dthresholdvoltagemodelsofnon-uni岛nncharmelDMOS?spropo