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多层陶瓷电容器用BSZT纳米瓷粉制备 　　摘要以Ti(OC4H9)4、Ba(NO3)2、Sr(NO3)2、Zr(NO3)4为原料，采用微波水热合成技术在较低的温度下合成出多层陶瓷电容器用Ba0.75Sr0.25Zr0.1Ti0.9O3纳米粉体。本文研究了反应温度、反应时间、pH值等因素对BSZT纳米粉体制备的影响机制，通过XRD、TEM、SEM等对粉体结构及形貌进行了表征。结果表明：在反应温度70℃、反应时间10min、pH≥14的条件下便可获得粒径只有60nm，分散良好且高结晶度的Ba0.75Sr0.25Zr0.1Ti0.9O3粉体，并初步探讨了微波水热合成纳米钛酸钡基陶瓷粉 　　 　　1引言 　　 　　多层片式陶瓷电容器（MLCC）广泛应用于电子信息产品的各种表面贴装电路中。陶瓷介质材料是影响MLCC诸多性能的关键因素，即需要制备亚微米/纳米级钛酸钡基瓷料。因此，控制陶瓷介质材料的粒度、组成、结构，获得细晶、高性能的MLCC瓷料以满足大容量、超薄层的多层陶瓷电容器的要求是目前国内外广泛关注的问题。 　　制备钛酸钡基陶瓷粉体的传统方法是固相法，所制粉体纯度低、杂质含量高、组成不均匀、粒径大，不能满足高精密电子元件的需要。相对于固相法，水热法制备的粉体具有颗粒尺寸小、团聚少、粉体无须煅烧等优点。S?Wada[1]在120℃水热反应5h，制备了平均粒径为100nm的BaTiO3粉体，可见其反应条件非常高。微波加热法具有快速、均质与选择性的特点，其高穿透性与特定材料作用性，使原不易制作的材料，如良好结晶与分散性的纳米粉体粒子可经由材料合成设计与微波场作用来获得。 　　本文结合微波加热法升温速度快且分布均匀等特点，在较低的温度下水热合成得到了Ba0.75Sr0.25Zr0.1Ti0.9O3粉体，研究了粉体的结构、组成及微观形貌特征，并且探讨了微波水热法制备纳米BSZT粉体的影响因素以及微波液相下晶粒的形成机理。 　　 　　2实 验 　　 　　2.1 BSZT纳米粉体制备 　　本实验采用分析纯的钛酸四丁酯、硝酸钡、硝酸锶、硝酸锆、氢氧化钠为实验原料，以OP-10为表面活性剂。准确配制一定浓度的NaOH溶液，加热至80℃除去其中溶解的CO2。量取一定量的NaOH溶液于反应容器中，在磁力搅拌下滴加钛酸四丁酯，然后加入确定比例的Ba(NO3)2溶液、Sr(NO3)2溶液以及Zr(NO3)4溶液；??着加入一定量表面活性剂，调节反应溶液的pH值。充分搅拌后，移入上海新仪微波化学科技有限公司的MAS-3普及型微波炉中进行加热。到设置的温度点开始计时，反应完成后，静置、酸洗、水洗、醇洗后过滤，干燥得到BaTiO3粉体。 　　2.2 测试与表征 　　采用日本理学公司的D/MAX-2004型X衍射仪对粉体做X衍射定性分析(CuKα靶，扫描波长为0.15405nm)；日立H-600型透射电镜观察粉体的分布、颗粒大小与形貌。使用HITACHIS-570型扫描电镜仪观察Ba0.75Sr0.25Zr0.1Ti0.9O3陶瓷样品的表面特征。 　　 　　3结果与讨论 　　 　　3.1 反应机理的初步分析 　　利用微波水热法合成的纳米BSZT的XRD图见图1，可见粉体为立方相的钙钛矿结构，拥有较高的结晶度和纯度。 　　从溶解-结晶的角度分析其反应机理，钛前驱物完全溶解或溶解速度较快，钛离子与钡离子以及锶离子在溶液中发生均匀成核反应。反应开始时，溶液中前驱物离子的浓度都很高，形成大量的晶核并消耗大部分的前驱物，因而最终易得到粒径较小、分布范围窄的颗粒。选用Ti(OC4H9)4为钛前驱体具有良好的溶解性，高浓度的OH-首先使快速溶解的Ti4+或Ti离子团羟基化形成Ti(OH)x4-x(x=1、2、3)络合物；Zr4+在强碱性的条件下也会形成Zr(OH)x4-x(x=1、2、3)。Ba2+以及Sr2+通过扩散吸附在Ti(OH)x4-x和Zr(OH)x4-x的表面，最后在结晶过程中界面发生脱水反应形成 Ba1-xSrxZryTi1-yO3。其发生的主要反应有： 　　Ti(OH)x+xH2O→Ti(OR)4-x(OH)x+xROH(x=1、2、3) 　　Ti(OH)x4-x+(6-x)OH-→Ti(OH)62- 　　Zr(OH)x+xH2O→Zr(OR)4-x(OH)x+xROH (x=1、2、3) 　　Zr(OH)x4-x+(6-x)OH-→Zr(OH)62- 　　yZr(OH)62-+(1-y)Ti(OH)62-+(1-x)Ba2++xSr2+→Ba1-xSrxZryTi1-yO3+3H2O 　　在微波场中，能量在体系内部直接转化，水和醇类都有过热的现象出现[2]。在过热区域内，局部温度过高，使得反应更加容易进行，从