现代超精密测量技术-第2及3次课.ppt

第六章 现代超精密测量技术 6.1 超精密测量技术概念、内容、发展与现状 6.2 超精密加工尺寸的检测技术 6.3 加工表面质量参数的超精密测量技术 6.4 纳米测量技术 主要内容 1.表面超精密表征参数测量概念、分类：? 几何量：表面粗糙度、形面误差(包括上节的平面度) 力学量：微米（纳米）硬度 机械量： 化学量： 2.表面粗糙度的定义、测量方法、评定长度与取样长度、二维平面的表面粗糙度定义 3.表面粗糙度的测量仪器 4.表面形状误差 (平面、球曲面、非球曲面) 5.表面形状误差的光学测量方法(光干涉、双频差动、X射线、WYKO、坐标测量、标准球面非球面样板) 6.表面微硬度的测量 1.表面超精密表征参数测量概念 表面微观形貌：指表面的微观几何特性、也称为表面拓扑图象、表面粗糙度的三维状态。 表面形貌在很大程度上决定了零件的使用性能，直接影响机械系统的摩擦磨损特性、接触刚度、疲劳强度、传动精度、导电、导热和抗腐蚀性等，进一步影响产品质量及可靠性。 1.表面超精密表征参数测量概念 表面粗糙度： 表面粗糙度对机器零件表面功能的影响从1918年首先受到注意，在飞机发动机设计中，由于要求用最少的材料达到最大的强度，人们开始对加工表面的刀痕对疲劳强度的影响加以研究。 20~30年代，工业国家用?表示粗加工，用? ?表示半精加工，用? ? ?表示精加工。OCTBKC7540-1928和DIN140-1931 德、美、英制造了轮廓记录仪、光切显微镜和干涉显微镜 ASAB46.1标准（1940年），经5次修订，成为现行标准ANSI/ASME B46.1-1988(表面结构、表面粗糙度、表面波度和加工纹理)；英国BS1134-1950（表面结构的评定）；我国[机50-1956]发展为GB1031-1983，1991年对GB1031-1983又进行了修订。 表面粗糙度的国家标准主要术语及定义： (1)表面粗糙度取样长度l????取样长度是用于判断和测量表面粗糙度时所规定的一段基准线长度，它在轮廓总的走向上取样。 (2)表面粗糙度评定长度Ln????由于加工表面有着不同程度的不均匀性，为了充分合理地反映某一表面的粗糙度特性，规定在评定时所必须的一段表面长度，它包括一个或数个取样长度，称为评定长度Ln。 (3)表面粗糙度轮廓中线m????轮廓中线m是评定表面粗糙度数值的基准线。 表面粗糙度高度参数共有三个: (1)轮廓算术平均偏差Ra：?在取样长度l内，轮廓偏距绝对值的算术平均值。 (2)微观不平度十点高度Rz：?在取样长度内最大的轮廓峰高的平均值与五个最大的轮廓谷深的平均值之和。 (3)轮廓最大高度Ry：???在取样长度内，轮廓峰顶线和轮廓谷底线之间的距离。 表面粗糙度间距参数共有两个： (4)轮廓单峰平均间距S：???两相邻轮廓单峰的最高点在中线上的投影长度Si，称为轮廓单峰间距，在取样长度内，轮廓单峰间距的平均值，就是轮廓单峰平均间距。 (5)轮廓微观不平度的平均间距Sm：???含有一个轮廓峰和相邻轮廓谷的一段中线长度Smi，称轮廓微观不平间距。 表面粗糙度综合参数 ?(6)轮廓支承长度率tp：?轮廓支承长度率就是轮廓支承长度np与取样长度l之比。 粗糙度 超精密表面检测特点： 超精密加工零件的表面质量往往受到原子尺度的表面微观形貌的限制，因此表面形貌的检测在超精密加工中就显得尤为重要。甚至可以说如果没有高精度的测试手段保证，就没有超精密加工的实现。目前在一些方面由于测试手段跟不上超精密加工的发展，致使超精密加工的加工精度得不到有效提高。 表面粗糙度测量仪 轮廓仪 X射线干涉测量 光学干涉方法 SPM技术 触针方法是最古老和最普通的用于测量表面轮廓粗糙度的仪器。其机械测量原理如下：针尖与固体表面接触，触针的垂直运动通过传感器被转换成电信号，传感器一般是线性变化的差动转换器（LVDT）或是一个光学干涉传感器，电信号被放大和处理，再通过A/D转换变为数字信号，用计算机分析。用于3D分析的触针法是在现有的2D触针技术上发展起来的，3D表征通过测量表面来实现，触针保持固定，而放置试件的表面通过移动精密X-Y平台以栅格方式扫描，平台的运动通过计算机控制，根据表面面积大小可选择合适的数据采样间距。 具有代表性的仪器是英国Rank Taylor Hobson公司的Talyscan 3D、Talysurf6等。近年为适应超精密加工的需要研制了Talystep，分辨力小于0.5nm、Form Talysurf分辨力为10nm、Nanostep分辨力为31pm等。英国国家物理实验室(NPL)还采用零膨胀系数的材料制造了Nanosurf2型粗糙度测量仪，垂直精度为0.2nm。 X射线干涉显