波分复用薄膜滤光片的容差及温度稳定性能研究-study on tolerance and temperature stability of wavelength division multiplexing thin film filter.docxVIP

浙江大学硕士学位论文摘要／f随着近几年光通信技术的快速发展和广泛应用，薄膜型波分复用器件由于其良好的温度稳定性和通道隔离度在波分复用系统中发挥着巨大的作用。因此，对于波分复用薄膜滤光片的性能分析工作显得尤为重要。中7本论文首先对光学薄膜及光通信的发展状况进行了综述，并对薄膜的设计、制备和监控技术做了较为详细的介绍。在此基础上，推导和改进了薄膜特性、膜层误差灵敏度，薄膜监控模拟以及监控光源带宽对膜系性能影响的计算公式，并且利用这些计算公式编制了用于对波分复用薄膜滤光片产品进行监控模拟和容差性能分析的软件。针对精度要求极高的波分复用多F，P腔窄带滤光片，论文利用软件分析了其在膜厚误差和折射率误差上的容差性能，各膜层误差灵敏度及对膜系性能的影响程度。还模拟计算了50GHz窄带滤光片产品在通带宽度和波纹上受误差影响时的实际性能情况。同时，通过模拟，提出了对监控光源带宽的要求。论文还对设计性能大体相同的不同膜系，从监控成品率的角度分析了其各自的容差特性。最后还分析了多峰滤光片和增益平滑滤光片的容差特性。论文还讨论了波分复用滤光片的温度稳定性问题。推导了薄膜微观结构和热应力形变模型上的中心波长漂移计算公式√建立了滤光片温度稳定性计算分析软件用于计算波分复用滤光片的温漂情况。同时经过计算分析发现通过更换膜系基板和调整膜系结构可以改变滤光片中心波长的漂移，这个结果有助于提高滤光片的温度稳定性。最后