射频磁控溅射氧化锌薄膜的制备 改性及光催化性能分析-preparation, modification and photocatalytic performance analysis of rf magnetron sputtering zinc oxide films.docxVIP

摘 要 随 着 地 球 环 境 问 题 的 日 益 严 重 利 用 纳 米 半 导 体 光 催 化 剂 进 行 环 境 净 化 己 经 引 起 了 广 泛 的 重 视 目前 的 应 用 主 要 集 中在 水 和 空 气 的 净 化 和 处 理 方 面 然 而 传 统 的 粉 末 光 催 化 剂 在 应 用 中存 在 许 多 缺 点 如 反 应 过 程 中 必 须 搅 拌 反 应 后 催 化 剂 难 于 分 离 和 回 收 等 而 纳 米 薄 膜 半 导 体 光 催 化 剂 在 处 理 污 水 过 程 中 不 易 流 失 便 于 回 收 无 二 次 污 染 克 服 了这 些 缺 点 并 有 着 广 阔 的 工 业 用 途 是 一 种 具 有 许 多 卓 越 性 能 的 宽 禁 带 族 化 合 物 半 导 体 材 料 对 于 的 催 化 性 能 己 有 一 些 研 究 但 由 于 自 身 的 光 腐 蚀 作 用 。 人 们 对 其 研 究 较 少 然 而 将 纳 米 薄 膜 进 行 离 子 注 入 改 性 处 理 进 行 贵 金 属 表 面 修 饰 或 者 制 备 以 半 导 体 材 料 为 主 体 的 氧 化 物 混 合 物 薄 膜 不 仅 可 使 自身 的 光 腐 蚀 作 用 减 弱 而 且 也 会 进 一 步 提 高 薄 膜 的 光 催 化 性 本 文 利 用 射 频 磁 控 溅 射 分 别 制 备 薄 膜 薄 膜 并 对 制 备 出 的 薄 膜 进 行 了  表 征 用 离 子 注 入 法 在 磁 控 溅 射 制 备 的 薄 膜 中 分 别 注 入 金 属 离 子 离 子 用 蒸 发 镀 膜 法 在 磁 控 溅 射 制 备 的 薄 膜 上 蒸 发 贵 金 属 研 究 对 比 这 种 薄 膜 对 苯 酚 溶 液 的 光 催 化 活 性 并 找 到 最 佳 光 催 化 方 案 研 究 表 明 用 蒸 发 镀 膜 法 在 磁 控 溅 射 制 备 的 薄 膜 上 蒸 发 贵 金 属 制 备 出 的 薄 膜 在 种 方 案 中 具 有 最 佳 的 光 催 化 活 性 关 键 词 〕 薄 膜 射 频 磁 控 溅 射 光 催 化 苯 酚 ， ， ， 加 。 分 ， 而 价 舒 吻 第 一 章 绪 论 第 一 章 绪 论 研 究 背 景 近 几 十 年 来 由于 人 类 工 农 业 生 产 的 急 速 发 展 以 及 对 资 源 的 不 合 理 利 用 使 得 自然 遭 到 严 重 破 坏 环 境 污 染 日益 恶 化 其 中 水 和 空 气 的 污 染 严 重 地 威 胁 着 人 类 的 生 存 污 水 处 理 和 空 气 净 化 己 成 为 世 界 面 临 的 最 重 大 课 题 之 一 半 导 体 材 料 在 光 的 照 射 下 通 过 把 光 能 转 换 为 化 学 能 促 进 有 机 物 的 合 成 或 使 有 机 物 降 解 的 过 程 称 为 光 催 化 因 此 利 用 半 导 体 光 催 化 技 术 将 污 水 中 的 有 机 物 及 部 分 无 机 物 脱 毒 降 解 或 用 于 空 气 中 氮 氧 化 合 物 的 脱 除 净 化 在 环 境 治 理 领 域 有 着 巨 大 的 经 济 环 保 和 社 会 效 益 并 且 越 来 越 受 到 人 们 的 重 视 每 年 都 有 大 量 的 文 献 报 道 这 是 因 为 该 方 法 在 常 温 常 压 下 就 可 进 行 不 需 要 任 何 氧 化 剂 能 在 短 时 间 内 完 成 不 存 在 二 次 污 染 等 问 题 而 且 半 导 体 光 催 化 材 料 来 源 广 泛 价 格 低 廉 利 用 技 术 简 单 所 以 日 益 为 人 们 所 关 注 并 企 求 尽 快 实 用 化 要 达 到 此 目 的 必 须 提 高 半 导 体 光 催 化 剂 的 活 性 并 解 决 其 附 载 问 题 ’ 简 介 是 一 类 重 要 的 宽 禁 带 族 化 合 物 半 导 体 材 料 属 于 型 氧 化 物 半 导 体 其 直 接 禁 带 宽 度 为 晶 体 属 于 六 方 晶 系 点 群 是 一 种 极 性 半 导 体 具 有 六 角 纤 锌 矿 型 晶 格 结 构 这 种 结 构 的 晶 格 常 数 是 二 二 在 纤 锌 矿 晶 体 中 锌 氧 各 自组 成 一 个 六 方 密 堆 积 结 构 的 子 格 子 这 两 个 子 格 子 可 形 成 复 格 子 结 构 每 个 原 子 和 最 近 邻 的 四 个 原子 也 构 成 一 个 四 面 体 结 构 同 样