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激光雕刻在电容器设计制备中应用研究 　　摘 要：激光雕刻是激光加工应用的一个重要领域，因其加工速度快、无刀具磨损、无污染、雕刻精度高等优点而被广泛。实验采取了激光雕刻对45#表面经行表面修饰，并以溶胶凝胶法将纳米级二氧化钛绝缘层涂覆于钢片表面，在二氧化钛绝缘层上覆盖炭膜，从而形成电容基本的三明治结构。结果表明，钢片经表面激光雕刻后，增大了电极的表面积，最大容值可达到22.7nF，最小二乘法拟合表明稳定生产19.5nF的电容器，相应生产条件优选为：水解温度大于76℃，同时凸台尺寸应大于0.7mm。 　　关键词：激光雕刻；溶胶凝胶；静态电容 　　中图分类号：TB324 　　近年来，由于不可再生资源日益枯竭及其对环境的负面影响越来越突出，人们对于高容量、高效率、长循环寿命并具有低成本的环保储能装置的需求越来越迫切.电容器具有可靠性好 、维护成本低等优点，被认为是新一代的储能元件。尤其是超级电容器因其能量密度高而备受关注[1，2]。目前电极材料主要为导电高分子和炭纳米材料[3，4]。 然而，导电高分子在循环过程中反复的化学过程引起自身体积的膨胀或收缩 ，最终导致电极脱落，极大程度地降低了其循环稳定性。另一方面，单一的炭纳米材料作为电极时，由于不具有赝电容[5]，所以得到具有高表面积电极，并形成三明治结构视觉决问题的关键。 　　激光雕刻是激光加工应用的一个重要领域，其融合了信息科学、电子科学、计算机科学、材料科学、环境科学等学科的知识和技术，因其加工速度快、无刀具磨损、无污染、雕刻精度高等优点而广泛用于电子、汽车、广告、包装、航空航天、装潢及工艺品等行业。激光雕刻是利用经聚焦的高功率密度激光束，依照电脑设计数码图案信息照射物件，激光能量在短时间内高度集中，使被照射材料迅速熔融、汽化、烧蚀或达到燃点，同时借助与光束同轴的高速气流吹除熔融物质，从而完成对被照射材料的非接触式高速自动雕刻、镂空的工艺过程[6]。 　　本研究采用了激光雕刻方法对钢片进行加工，得到具有大表面积的电极。并以溶胶凝胶法将纳米级二氧化钛绝缘层涂覆于钢片表面，在二氧化钛绝缘层上覆盖炭膜，从而形成电容基本的三明治结构。本研究采用 XRD、SEM、CV等仪器或手段对电容结构和电容特性进行了表征 ，以期电容器材料的量产开发提供可参考的依据。 　　1 材料与仪器 　　1.1实验材料 　　45#钢片；钛酸丁酯（分析纯试剂，纯度大于99.0%，国药集团化学试剂有限公司）；无水乙醇（分析纯，纯度大于95%，国药集团化学试剂有限公司）去离子水；聚乙烯醇1750±50（含量大于99%，国药集团化学试剂有限公司）。 　　1.2 实验仪器 　　光纤激光雕刻机（PRO-M20ZF，上海大量光电科技有限公司）用于对钢片表面的处理；扫描电子显微镜（SEM，VEGA3，捷克Tescan公司）观察样品形貌及电容结构；X射线衍射仪（XRD，D8 ADVANCE，德国Bruker公司）研究材料晶型结构；采本研究同时采用上海辰华 CHI660D电化学工作站对电容值进行分析。 　　1.3试验流程 　　取45#钢片20mm*10mm*1.5mm。在激光雕刻机上，以不同的工艺参数，利用激光烧蚀钢片表面，从而在钢片表面形成不同的表面结构，图1和图2是两种表面处理得到的钢片电极，分别命名为1#钢片电极和2#钢片电极， 其中1a和图2a为钢片电极的三维结构示意图，图1b和图2b为俯视图及钢片的长宽尺寸，图1c和图2c为侧视图及厚度尺寸以及，单位为mm沟槽深度。 　　图1：1#钢片结构示意图 　　图2：2#钢片结构示意图 　　在室温条件下（20度-25度），将适量的钛酸丁酯溶于 50ml 的乙醇，搅拌均匀后将表面氧化/粗化1#钢片，2#钢片及原始钢片浸入钛酸丁酯/乙醇溶液中，持续一段时间后，将放入反应器中，向该反应器通入 65度-95度的水蒸气，反应时间为 30分钟，以保证吸附在钢片表面的钛酸丁酯能够得到充分的水解。随后将处理后的钢片电极取出在 110度条件下干燥 1 小时，随后放到真空煅烧炉中进行450度煅烧，450度煅烧时间为1小时，冷却后取出样品，在样品的二氧化钛层上第一次浸渍聚乙烯醇水溶液（15wt%），110度条件下干燥1小时后第二次浸渍聚乙烯醇水溶液（15wt%），110度条件下干燥1小时，随后经行第二次真空煅烧，为防止煅烧过程中产生的应力集中而导致的开裂和孔洞，在本实验中采取如下升温程序：室温至 250度升温时间为 60 分钟，并保温30分钟，从 250度升至650度用 120 分钟，在650度保温60分钟。然后在自然降温至 150度时停止真空泵，再继续降温至室温。 用X射线衍射仪对钢片电极表面的二氧化钛样品进行物相表征，管电压40 kV，扫描范围为 10°～90°，扫描步长