半导体工业洁净室新风系统节能方法研究-集成电路工程专业论文.docxVIP

万方数据 万方数据 上海交通大学 学位论文原创性声明 本人郑重声明：所呈交的学位论文《半导体工业洁净室新风系统 节能方法研究》，是本人在导师的指导下，独立进行研究工作所取得 的成果。除文中已经注明引用的内容外，本论文不包含任何其他个人 或集体已经发表或撰写过的作品成果。对本文的研究做出重要贡献的 个人和集体，均已在文中以明确方式标明。本人完全意识到本声明的 法律结果由本人承担。 学位论文作者签名： 日期： 年 月 日 上海交通大学 学位论文版权使用授权书 本学位论文作者完全了解学校有关保留、使用学位论文的规定， 同意学校保留并向国家有关部门或机构送交论文的复印件和电子版， 允许论文被查阅和借阅。本人授权上海交通大学可以将本学位论文的 全部或部分内容编入有关数据库进行检索，可以采用影印、缩印或扫 描等复制手段保存和汇编本学位论文。 保密□，在 年解密后适用本授权书。 本学位论文属于 不保密□。 （请在以上方框内打“√”） 学位论文作者签名： 指导教师签名： 日期： 年 月 日 日期： 年 月 日 上海交通大学硕士学位论文 上海交通大学硕士学位论文 半导体工业洁净室新风系统节能方法研究 摘 要 在半导体代加工工厂内，新风系统是十分重要的。它为洁净室提 供合适温湿度范围内的干净空气，满足了关键设备的净化要求。新风 设备全年不间断运行，需要消耗水、电、气等能源。随着生产厂房的 不断扩大以及设备的不断增多，新风系统消耗的能源也越来越多。为 了节能减排，同时也为公司降低运营成本，因此对新风系统进行节能 方法的研究。 新风处理是一个复杂的流程，因为它不仅要去除颗粒，而且要控 制好空气的温湿度。能量的消耗会根据室外的空气状态和室内新风的 使用进行调整。以前新风系统的节能研究是换气次数、设备发热以及 空气传输的阻力。现在的研究重点是空调机的效率。不过理论研究远 远多于实际操作，实际运行案例是缺乏的。不同的系统间能源的联系 也不够紧密。 各个公司新风系统的处理流程基本相同。本文从新风机组的运行 出发，结合国内外的资料和自身的工作实践，对新风处理流程进行分 类，从三方面进行能量使用和损耗的分析，分别是风量，过滤器使用 以及温湿度。为了验证节能方法的可行性并找到空调机最佳的运行参 数，改变空调机的参数并且比较能量的使用数据。 动力系统是一个整体。单个系统的运行会消耗大量的能源，同时 会浪费能源。水的比热容很大，也容易通过水实现能量交换。新风系 统和冷冻水系统中都有许多水的环节。两者可以通过水进行能源互补， 为新风系统找到新的节能方法。本研究较完整的给出改造方案，利用 焓湿图、热力学和流体力学公式进行节能计算。然后，通过特定新风 系统改造进行可行性分析。最后记录新风机改造前后的运行数据，进 I 行比较并验证改造方案的效果。 在冬季，通过冷却水热回收可以降低新风预热环节 43.7%的蒸汽 使用量。在夏季利用峰谷电价差来降低成本。晚上利用冷冻机对水箱 内的水进行制冷，白天释放冷量至预冷环节，可以降低新风系统冷冻 水用量 20%。冷却盘管处析出的冷凝水回收后送入至冷却塔，通过此 改造每天可节约 170t 的补水水量。通过水喷淋的改造每年可以节约电 费 10 万元。通过本文的研究，可以显著降低新风系统的运行成本，并 为今后进一步的节能改造提供理论以及实践上的支持。 关键词：半导体，新风系统，节能 II Study on Methods of Saving Energy about the Air System of Clean Room in the Semiconductor Industry ABSTRACT In the semiconductor foundry, the air system is very important. It provides clean air with appropriate ranges of temperature and humidity for the CR (Clean Room) to meet the purification requirements of key equipment. OAC (Over Air Conditioning) works year round, it consumes water, electricity, gas and so on. With the increasing of production plant and equipment, more and more energy is consumed by the air system. Studying on methods of saving energy about the air system is in