多孔氧化铝模板电沉积金属银关键技术研究-微电子与固体电子学专业论文.docxVIP

哈尔滨工业大学工学硕士学位论文 哈尔滨工业大学工学硕士学位论文 万方数据 万方数据 摘 要 随着科学技术日益的进步，微细加工技术的不断发展，分析仪器的集成化、 微型化和便携化成为其发展趋势。其中应用较多的检测方法是电化学检测，这就 对检测电极提出很高的要求。微电极因具有 IR 降低、时间常数小、传质速度快、 电流密度高、信噪比高等特性而成为研究的热点。其中，模板法和电化学沉积法 是制备微电极过程中常用的方法。 本文主要是研究两方面的内容，一个是阳极氧化铝模板的制备及表征，另一 个是以阳极氧化铝为模板进行金属银的电沉积。 本文采用二次阳极氧化法，以金属铝为阳极，惰性电极为阴极，在 0.3mol/L 草酸电解液中，通过施加恒定的 70V 电压，制备多孔的氧化铝模板。该模板孔径 大小均一，孔分布均匀，孔密度高，孔洞是相互平行并且垂直于表面的高度有序 的纳米管阵列。使用扫描电子显微镜对模板的形貌进行表征；通过监控氧化电流 随时间的变化，分析了氧化铝的生长过程，整个氧化过程可以分为阻挡层形成、 孔洞形成、多孔膜生长三个部分。着重分析了退火、搅拌、电解电压和氧化时间 等工艺参数对氧化铝模板的影响。 然后，以制备出的多孔氧化铝薄膜为模板，在外加电场的作用下进行银离子 的沉积。本文以 AgNO3 溶液为底液，H3BO3 为缓冲液，分别研究了交流电沉积法 和直流电沉积法的工艺参数。其中，交流电沉积法选用的是 50Hz 的交流方波信号， 直流电沉积法的恒定沉积电位通过循环伏安法确定。使用扫描电子显微镜对其形 貌进行表征，通过循环伏安法对电沉积的银结构进行电化学测试。 关键字：阳极氧化铝；模板法；电化学沉积；循环伏安法 -I- Abstract With the progress of science and technology, the development of microfabrication technology, integration, miniaturization and portability of analytical instrumentation are its growing trend. Detection method which is widely applied is electrochemical detection, so its high demands are put forward on the detection electrode. A microelectrode which shows many advantageous electrical properties, such as low IR, small time constant, rapid mass transport speed, high current density, improved signal-noise-ratio and so on is becoming a hot spot. And the template method and electrodeposition method are the basic method to fabricate the microelectrode. The article is divided into two parts, one is about the fabrication and characterization of anodic aluminium oxide (AAO) template, and another is electrodeposition metal silver based on AAO template. In the paper, the template is anodic aluminium oxide (AAO) which is prepared by a two-step aluminum anodic oxidation with 0.3M oxalic acid as electrolyte at 70 V constant voltage. AAO is highly ordered nanotube array which has a characteristics of average pore diameter size, controllable pore, high pore density and parallel to each other. The AAO morphology is confirmed by scanning electron micrograph (SEM). There are th