超声喷雾法制备光伏玻璃减反射膜工艺与性能研究-材料物理与化学专业论文.docxVIP

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超声喷雾法制备光伏玻璃减反射膜工艺与性能研究-材料物理与化学专业论文

河北 河北工业大学硕士学位论文 超声 超声喷雾法制备光伏玻璃减反射膜工艺与性能的研究 i i PAGE PAGE iv 超声喷雾法制备光伏玻璃减反射膜工艺与性能的研究 摘要 提高太阳能电池的转换效率是降低光伏发电成本的有效手段。玻璃衬底能够 反射大约 10%的太阳光,通过在玻璃衬底表面镀制减反射膜,降低玻璃的反射, 从而使更多的光被电池吸收利用,提高电池的转换效率。目前制备减反射膜的 方法主要是真空镀膜(MOCVD、PECVD、磁控溅射等),这些方法的制备成本 高,有悖于降低成本的目的;sol-gel 法制备薄膜的周期长、性能差。因此寻求一 种低成本、高质量的成膜方法迫在眉睫。 超声喷雾法制备成本低、工艺简单,是一种较理想的制备方法。本文利用自 主设计及研制的超声喷雾设备,在玻璃衬底上制备了 TiO2、SiO2 及 TiO2/SiO2 减 反射膜。首先研究了超声雾化法的雾化方式,发现直接雾化模式更适合于工业 化生产。然后从超声喷雾法的沉积模式和前驱液特性入手,研究了沉积温度、 喷射距离、液体流量、溶液浓度、pH 值对薄膜性能的影响。 利用 X 射线衍射仪、原子力显微镜、分光光度计、椭圆偏振仪分析了薄膜 的性能,获得优化的制备工艺参数。制备 TiO2 薄膜时,沉积温度为 500℃、喷 射距离为 6cm、液体流量为 1ml/min、溶液浓度为 Ethanol/TBT=80、pH 值为 3.0 的条件下制备的薄膜性能最佳;制备 SiO2 薄膜时,沉积温度为 450℃、喷射距 离为 4.5cm、液体流量为 1.5ml/min、溶液浓度为 Ethanol/TEOS=30、pH 值为 3.5 的条件下制备的薄膜性能最佳。 利用最佳的制备参数,制备了 V 型和 W 型双层减反射膜,并测试分析了其 光学性能。发现 W 型双层减反射膜能在较宽的光谱波段提高光的透过率,与 V 型减反射膜相比,更适合于太阳能电池。 关键词:减反射膜,TiO2,SiO2,超声喷雾法,玻璃衬底,太阳能电池 STUDY OF ANTI-REFLECTIVE FILMS FOR PV GLASS BY ULTRASONIC SPRAY PYROLYSIS ABSTRACT Improving the conversion efficiency of solar cells is an effective means to reduce PV cost. Glass substrate can reflect about 10% of sunlight. Reflection of glass substrate can be reduced by preparation of anti-reflective film on the glass surface, so that more light is absorbed by cells and cell conversion efficiency can be improved. At present, preparation methods of antireflection coating are mainly vacuum coating, such as MOCVD, PECVD, sputtering, etc. The high cost of these methods is contrary to the purpose of reducing cost. Films prepared by sol-gel need long cycle and have poor performance. Therefore, a low cost and high-quality film-forming method is extremely urgent. Ultrasonic spray pyrolysis is an ideal method, which has low cost, simple process. In this paper, the SiO2, TiO2, TiO2 antireflection films were prepared respectively by self-designed ultrasonic spray devices. The ultrasonic spray way is studied. It is found that the direct aerosol model is more suitable for industrial production. In the ultrasonic spray pyrolysis, many process

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