超导带材用双面LaMnO3缓冲层的制备研究-材料科学与工程专业论文.docxVIP

I I 摘 要 摘 要 YBa2Cu3O7-δ（YBCO）带材具有载流水平高、不可逆场高、磁场下超导性能 好、成本较低等优势，其市场潜力巨大。离子束辅助沉积（IBAD）是 YBCO 的主 要技术路线之一。在 IBAD 路线中，LaMnO3（LMO）缓冲层作为 YBCO 超导薄 膜的生长面，对 YBCO 的性能起到直接的决定作用。双面超导带材能获得单面带 材的 2 倍载流能力（理论上），所以其具备更好的工程应用前景。双面带材需要双 面 LMO 为 YBCO 提供生长面，所以双面 LMO 缓冲层的制备是首要克服的难题。 本文以双面 homo-epi（同质外延）MgO / IBAD-MgO/ SDP（溶液沉积表面平坦化） -Y2O3/ 哈氏合金作为衬底，利用中频（MF）磁控反应溅射进行双面 LMO 缓冲层 的制备研究。主要内容如下： 1、对系统的加热装置进行改进，实现了基带上通电流从而基带发热为薄膜提 供所需沉积温度。这种加热装置结构简单、双面温度一致性好、成本低，所以制 备双面 LMO 薄膜的效果比较好。 2、对中频磁控反应溅射方法的三种电源工作模式制备 LMO 薄膜的特性、LMO 薄膜的沉积速率、LMO 薄膜的成分、LMO 薄膜的平整性进行了研究，得到以下 几个结论：1）恒功率和恒流工作模式制备 LMO 薄膜均有比较明显的迟滞效应， 恒压模式下不存在迟滞效应，并且工作点比较稳定，适合用于 LMO 薄膜的制备； 2）中频反应溅射比起直流、射频反应溅射能获得更高的沉积速率，LMO 薄膜沉 积速率可达 100 nm/min 以上；3）由温度引起的 LMO 薄膜成分变化不明显；4） LMO 薄膜十分平整，比较致密，没有裂纹。 3、研究了溅射电压、氧通量、沉积温度、工作气体（氩气）气压、走带角度、 走带速率对 LMO 薄膜织构及表面形貌的影响，并得出了 LMO 薄膜的最优生长工 艺。在最优生长工艺下进行模拟双面 LMO 薄膜的沉积，获得了双面一致性高且质 量也较高的 LMO 薄膜，其两面面内织构均为约 4.7°，面外织构均为约 2.7°，RMS （表面均方根粗糙度）均为约 1.3 nm。并且 LMO 薄膜在 MgO 的基础上能得到 0.8-1.2°的面外织构和 1-2°的面内织构改善。我们在 LMO 上制备单面 YBCO 超 导薄膜，其临界电流密度（Jc）为 3.2 MA/cm2，验证了 MF-LMO 良好的实用性。 4、对双面 LMO 薄膜长带的快速制备进行研究，长约 20 米的双面 LMO 缓冲 层已被制备出来，单面长带的织构和表面形貌均具有较高的均匀性，制备速率达 40 m/h（膜厚约 45 nm）。 关键词：YBCO 高温超导带材，LaMnO3 薄膜，双面 II II ABSTRACT ABSTRACT The second generation high temperature superconductor (HTS) wires, based on YBa2Cu3O7-δ (YBCO), have the following advantages: higher current carrying level, higher irreversible field, better magnetic properties, better mechanical properties, lower cost and so on. HTS wires have huge market prospect. Ion Beam Assisted Deposition (IBAD) is among preparation technology route of HTS wire’s. Based on IBAD route, LaMnO3 (LMO) provides the growing surface for YBCO thin films and plays a decisive role in the performance of YBCO. Current carrying capacity of double-sided HTS wires is twice of the one-sided wires. So, double-sided HTS wires have much greater application prospect. Growth of double-sided YBCO films needs double-sided LMO films to provide the growth surface. Therefore, preparation of double-sided LMO film is the