二维激光扫描系统中大工作面f θ透镜设计-光学工程专业论文.docxVIP

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二维激光扫描系统中大工作面f θ透镜设计-光学工程专业论文

独创性声明 本人声明所呈交的学位论文是我个人在导师指导下进行的研究工作及取得的研究 成果。尽我所知,除文中已经标明引用的内容外,本论文不包含任何其他个人或集体 已经发表或撰写过的研究成果。对本文的研究做出贡献的个人和集体,均已在文中以 明确方式标明。本人完全意识到本声明的法律结果由本人承担。 学位论文作者签名: 日期: 年 月 日 学位论文版权使用授权书 本学位论文作者完全了解学校有关保留、使用学位论文的规定,即:学校有权保 留并向国家有关部门或机构送交论文的复印件和电子版,允许论文被查阅和借阅。本 人授权华中科技大学可以将本学位论文的全部或部分内容编入有关数据库进行检索, 可以采用影印、缩印或扫描等复制手段保存和汇编本学位论文。 本论文属于 保密□, 在 年解密后适用本授权书。 不保密□。 (请在以上方框内打“√”) 学位论文作者签名: 指导教师签名: 日期: 年 月 日 日期: 年 月 日 摘 要 f-θ 透镜是二维激光扫描系统中的一种关键的具有特殊要求的透镜,二维激光扫描 系统包括激光打标机、激光打印机、激光打孔机等精密设备。本论文研究了超大视场 大工作面 f-θ 透镜和大工作面变焦 f-θ 透镜的光学设计。采用望远镜结构,利用视角放 大率增大扫描角,得到了超大视场 900f-θ 透镜。运用物像交换补偿变焦原理,结合 f-θ 镜设计了大工作面变焦 f-θ 透镜。将衍射光学应用到光学设计中,很好地校正了两 f-θ 透镜的轴外点像差。 本论文从初级像差理论出发,分析了 f-θ 透镜中存在的主要像差。求解 PW 表示的 初级像差方程组得到 f-θ 透镜的初始结构参数。利用 ZEMAX 光学设计软件,结合 f-θ 透镜的像差要求,建立合理的优化函数,优化后得到了超大视场大工作面 f-θ 透镜和大 工作面变焦 f-θ 透镜。设计结果表明:所设计的两种大工作面 f-θ 透镜具有相对畸变小、 能量集中度高和像面相对照度分布均匀等优点,聚焦性能能够达到衍射极限。 本论文主要论述了: (1) 阐述了 f-θ 透镜的特性,通过引入负畸变使得像高与扫描角成线性关系。介绍 了 f-θ 透镜中存在的主要像差,要校正像差,透镜应采用分离镜片结构,且应使透镜中 尽可能多的镜面弯向光阑。 (2) 利用望远镜的视角放大率这一特性增大扫描角,得到了超大视场 900f-θ 透镜。 采用折/衍混杂设计,可以更好地校正像差。建立合理的优化函数对该透镜进行优化, 得到了适合二维激光扫描系统的 f-θ 透镜。 (3) 将变焦原理应用到 f-θ 透镜的光学设计中,采用物像交换补偿系统,设计得到 了像质优良、具有衍射受限的变焦 f-θ 透镜。 关键词:超大视场 f-θ 透镜 负畸变 变焦 f-θ 透镜 激光二维扫描 像质评价 Abstract F-θ lens is a key lens with special requirements in two-dimensional laser scanning system, which includes laser marking machine, laser printer, laser drilling machine and so on. The design of super wide field view f-θ lens and zoom f-θ lens both with large scan field is mainly studied in this thesis. By adopting a telescope structure and using a method of visual magnification, an f-θ lens with the field angle of 900 was obtained in the optical system. With the theory of zoom lens, the zoom f-θ lens was designed. It is a good method to correct aberration of the two designed lens by the use of the diffraction optics. Based on the analysis of primary aberrations, the parameters of initial structure were determined by PW method. And the super wide field view f-θ lens and zoom f-θ lens are gained with ZEMAX under practic

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