低温共烧(LTCC)铁电铁磁复合材料与器件研究-电子科学与技术专业论文.docx

万方数据 万方数据 Investigation on Ferroelectric/Ferromagnetic Composite Materials and Device for Low Temperature Cofired Ceramic Technology Major: Electronic Science and Technology Advisor: Professor Huaiwu Zhang Doctor: Weiwei Ling 独 创 性 声 明 本人声明所呈交的学位论文是本人在导师指导下进行的研究工作 及取得的研究成果。据我所知，除了文中特别加以标注和致谢的地方 外，论文中不包含其他人已经发表或撰写过的研究成果，也不包含为 获得电子科技大学或其它教育机构的学位或证书而使用过的材料。与 我一同工作的同志对本研究所做的任何贡献均已在论文中作了明确的 说明并表示谢意。 签名： 日期： 年 月 日 关于论文使用授权的说明 本学位论文作者完全了解电子科技大学有关保留、使用学位论文 的规定，有权保留并向国家有关部门或机构送交论文的复印件和磁盘， 允许论文被查阅和借阅。本人授权电子科技大学可以将学位论文的全 部或部分内容编入有关数据库进行检索，可以采用影印、缩印或扫描 等复制手段保存、汇编学位论文。 （保密的学位论文在解密后应遵守此规定） 签名： 导师签名： 日期： 年 月 日 摘要 摘 要 随着信息和通讯技术的高速发展，整机和系统的小型化、轻量化和多功能化 程度进一步提高，这同时对材料、设计和集成技术都提出了更高的要求。面对这 一新的挑战，复合材料在功能集成上的优势越来越明显。铁电/铁磁复合材料因兼 有电容和电感两种特性，既能为电子器件中电容、电感部分的集成提供更多选择， 又可以为新型结构、功能器件的设计拓宽思路。与此同时，低温共烧陶瓷（LTCC） 技术以其优异的电子、热机械和互联等特性逐渐成为目前无源集成的主流方式。 铁电/铁磁复合材料与 LTCC 技术结合不仅有助于解决目前 LTCC 材料种类单一， 性能没有实现系列化的问题，还能用单一材料同时实现电容和电感部分的功能， 从而避免电容层和电感层材料共烧时可能出现的不匹配。 本 论 文 的 工 作 围 绕 BaTiO3(BTO)/NiCuZn Ferrite(NCZF) 和 Bi4Ti3O12(BIT)/ NiCuZn Ferrite(NCZF)两个铁电/铁磁复合材料体系的低温烧结和性能研究展开。首 先用固相反应法，以 Bi2O3 助熔，实现了低铁电相含量 BTO/NCZF 复相陶瓷在 950oС 以下的致密化。在与两相比例相同的 CaTiO3/NCZF 复相陶瓷进行性能对比的基础 上，通过理论修正建立了可以预测低温烧结复相陶瓷磁性能和介电性能的计算模 型，同时研究了烧结温度和介电相含量对复合体系磁化机制的影响。其次，分别 采用软化学方法、多元低熔点氧化物掺杂以及低熔点玻璃相物质助熔的方法成功 制备了 900oС 烧结的 BTO/NCZF 复合材料。研究发现溶胶-凝胶法合成的 BaTiO3 粉体可以有效降低复合体系的介电损耗，但对提高体系介电常数作用不大。而且， 纳米 BaTiO3 粉体相比颗粒尺寸大的同类粉体能更有效地减小复合体系的间隙参 数，从获得更高的磁导率。三元氧化物 Bi2O3-Li2CO3-V2O5 掺杂研究发现，铁电相 与铁磁相质量比为 1:5 时体系有较好的介电性能（在 1MHz~1GHz 内 ????=28~31， 在 1~127MHz 内 tan??0.02），此时的 ????=12~14，截止频率 488MHz。按照上述的 两相比例，进一步研究了 B2O3-Bi2O3-SiO2-ZnO(BBSZ)玻璃添加量对体系磁性能和 介电性能的影响，确定了可用于 LTCC 低通滤波器制作的材料性能参数（ ????=13， 截止频率 585MHz，????=26）。制作的低通滤波器 3dB 截止频率 66.3MHz，145MHz 时带外抑制 20dB，符合设计指标。此外，还借助前面提出的计算模型对各种方法 制备的 BTO/NCZF 复合体系的性能随组分变化规律进行了研究。最后，采用低熔 点 Bi4Ti3O12 铁电陶瓷替换 BaTiO3，研究了 BIT 掺杂 NCZF 的低温烧结性能，发现 I 适量 BIT 能有效促进铁氧体晶粒生长，提高磁导率，并能在一定程度改善体系的 介电性能。在此基础上初步研究了 BIT 含量对低温烧结 BIT/NCZF 复相陶瓷性能 的影响。 关键词：铁电/铁磁复合材料，LTCC，磁性能，介电性能 II ABSTRACT ABSTRACT With the development of imformation and