周期性纳米结构光散射分布模拟仿真.PDFVIP

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2018-12-16 发布于湖北
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周期性纳米结构光散射分布模拟仿真.PDF

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第卷第期西安工业大学学报３６４Ｖｏｌ．３６Ｎｏ．４　　　　　　　年月　　　　　　　　　　　 ’ 　　　　　　　　　　　２０１６４ＪｏｕｒｎａｌｏｆＸｉａｎＴｅｃｈｎｏｌｏｉｃａｌＵｎｉｖｅｒｓｉｔＡｒ．２０１６ｇｙｐ：／ＤＯＩ１０．１６１８５．ｘａｔｕ．ｅｄｕ．ｃｎ．２０１６．０４．００３ｊｊ周期性纳米结构光散射分布的模拟仿真 赵翔，高爱华，杨鹏飞，闫丽荣，王少刚　（西安工业大学陕西省薄膜技术与光学检测重点实验室，西安７１００２１）摘要：为得到离子束刻蚀蓝宝石所形成的周期性条纹状纳米结构光散射分布特性，采用有　　限元法多物理场建模与分析，运用射频模块，结合麦克斯韦电磁波理论，引用弗洛奎特周期性边界和端口激发条件，对一维周期性条纹状纳米结构的光散射场进行数值分析研究结果表．明：一维周期性条纹状纳米结构与波光散射场分布呈周期性；随入射角不断增大，散ＴＥＴＭ射场分布沿纵轴呈凸状逐渐增强，入射角达到／时，波呈圆斑状周期分布，波呈斜 π５ＴＥＴＭ条纹状周期性分布；经过后处理可得同一入射角下不同级反射系数之和为定值．关键词：周期性纳米结构；电磁理论；散射场；反射系数　中图号：文献标志码：文章编号：（）Ｎ３４Ａ１６７３９９６５２０１６０４０２７００７　　　　　　　犛犻犿狌犾犪狋犻狅狀狅犳狋犺犲犔犻犺狋犛犮犪狋狋犲狉犻狀犇犻狊狋狉犻犫狌狋犻狅狀狅犳犵犵犇犻犿犲狀狊犻狅狀犪犾犘犲狉犻狅犱犻犮犖犪狀狅狊狋狉狌犮狋狌狉犲狊，，，，犣犎犃犗犡犻犪狀犌犃犗犃犻犺狌犪犢犃犖犌犘犲狀犲犻犢犃犖犔犻狉狅狀犠犃犖犌犛犺犪狅犪狀犵犵犳犵犵犵（， ’ ， ’ ，）ＳｈａａｎｘｉＰｒｏｖｉｎｃｅＫｅＬａｂｏｆＴｈｉｎＦｉｌｍｓＴｅｃｈｎｏｌｏａｎｄＯｔｉｃａｌＴｅｓｔＸｉａｎＴｅｃｈｎｏｌｏｉｃａｌＵｎｉｖｅｒｓｉｔＸｉａｎ７１００２１Ｃｈｉｎａｙｇｙｐｇｙ：犃犫狊狋狉犪犮狋Ｔｏｅｔｌｉｈｔｓｃａｔｔｅｒｉｎｄｉｓｔｒｉｂｕｔｉｏｎｏｆｔｈｅｅｒｉｏｄｉｃｓｔｒｉｅｄｎａｎｏｓｔｒｕｃｔｕｒｅｉｎｓａｈｉｒｅｅｔｃｈｅｄｂｉｏｎ