基于“微井”结构的气体传感器的制备-光学工程专业论文.docxVIP

万方数据 万方数据 PREPARATION OF GAS SENSORS WITH MICRO-WELL STRUCTURE A Master Thesis Submitted to University of Electronic Science and Technology of China Major: Optical Engineering Author: Zhu Tao Advisor: Xie Guangzhong School: School of Optoelectronic Information 万方数据 万方数据 独 创 性 声 明 本人声明所呈交的学位论文是本人在导师指导下进行的研究工作 及取得的研究成果。据我所知，除了文中特别加以标注和致谢的地方 外，论文中不包含其他人已经发表或撰写过的研究成果，也不包含为 获得电子科技大学或其它教育机构的学位或证书而使用过的材料。与 我一同工作的同志对本研究所做的任何贡献均已在论文中作了明确的 说明并表示谢意。 作者签名： 日期： 年 月 日 论 文 使 用 授 权 本学位论文作者完全了解电子科技大学有关保留、使用学位论文 的规定，有权保留并向国家有关部门或机构送交论文的复印件和磁盘， 允许论文被查阅和借阅。本人授权电子科技大学可以将学位论文的全 部或部分内容编入有关数据库进行检索，可以采用影印、缩印或扫描 等复制手段保存、汇编学位论文。 （保密的学位论文在解密后应遵守此规定） 作者签名： 导师签名： 日期： 年 月 日 万方数据 万方数据 万方数据 万方数据 摘 要 摘 要 气体传感器阵列不仅能弥补单一气体传感器选择性差的缺点，还可以充分利 用其交叉敏感性，并结合一定的模式识别技术，实现传感器的高精度测量。本论 文主要对气体传感器阵列结构和气敏薄膜进行了研究。 本论文首先从基于“微井”结构的气体传感器阵列的结构设计与制备出发， 对该传感器阵列器件的相关参数进行了合理设计，采用 MEMS 工艺制备出了该传 感器阵列的基础传感功能结构，获得了较好的 17mm×11mm 大小的 2×2 的传感器 阵列基础芯片。器件以（100）硅为基底，氮化硅为绝缘层，金属 Al 为电极材料， 电极采用叉指结构。在器件的设计与工艺实现方面，重点研究了 KOH 湿法刻蚀制 备“微井”的工艺，得到了其最佳的工艺条件：30 wt%的 KOH 溶液、温度为 80℃、 冷却回流装置、磁力搅拌。此条件下刻蚀速率可达 0.96μm/min，刻蚀后材料表面 平整，横向腐蚀误差较小，最大绝对误差 22.8μm，最大相对误差是 3.8%。 气敏材料是气体传感器的核心，其正在由单一材料向复合材料发展。高分子/ 无机纳米复合材料综合了有机材料和无机纳米材料的各自优点，在气敏方面具有 许多优异的特性。本论文运用气喷工艺在“微井”传感器阵列基础结构上制备了 PEO（聚环氧乙烷）/CNTs（碳纳米管）和 PVP（聚乙烯吡咯烷酮）/CNTs（碳纳 米管）复合敏感膜，重点研究了复合膜对甲苯和甲醇的灵敏度与重复性。实验结 果表明：PVP/CNTs 复合敏感膜对甲苯和甲醇的灵敏度都大于 PEO/CNTs 复合敏感 膜，PVP/CNTs 和 PEO/CNTs 复合敏感膜对甲苯的灵敏度远大于甲醇，且 PVP/CNTs 和 PEO/CNTs 复合敏感膜对甲醇的响应和恢复时间低于对甲苯的响应和恢复时间。 在重复性方面，无论是 PVP/CNTs 复合敏感膜，还是 PEO/CNTs 复合敏感膜，都存 在基线漂移的现象。通过 SEM（扫描电子显微镜）对复合膜进行表征与分析，由 于碳纳米管的团聚性、喷涂成膜工艺本身的一些缺陷等原因，造成了敏感膜成分 的差异、敏感膜的厚度也不完全相同，所以传感器阵列的响应时间与恢复时间较 长，传感器阵列的重复性也有待提高。 关键词：微井，气体传感器阵列，高分子/无机纳米复合敏感膜，甲苯，甲醇 I AB ABSTRACT ABSTRACT A gas sensor array has the potential to enhance the poor selection of a single gas sensor and make full use of its cross-sensitivity at the same time. Combined with some pattern recognition technologies, a gas sensor array can achieve high precision measur