厚膜电容压力传感器的微位移测量分析-检测技术与自动化装置专业论文.docxVIP

中文摘要 中文摘要 I I 厚膜电容压力传感器的微位移测量研究 摘 要 厚膜电容压力传感器于 80 年代末出现，是一种为了实现流体压力测量的传 感器，它采用陶瓷材料，经过特殊工艺制备而成。具有工作温度范围宽、抗过载 能力强、蠕变和迟滞小、可直接接触腐蚀性液体等优点，被广泛应用于石油、化 工、食品、动力机械、生物医学工程、气象、地质、地震测量等各个领域。 一般来说，厚膜电容式压力传感器是一种测量流体压力的传感器，例如对于 大气压，水压以及声压等的测量，这些应用中，传感器的膜片受到均布载荷，采 用均布载荷模型对其进行分析和研究。另外厚膜电容式压力传感器还有一种重要 的应用，它可以用来对位移进行测量，例如对压电陶瓷 PZT 的精密位移测量。 它是通过压电陶瓷 PZT 的探针直接刚性接触传感器的弹性膜片，对其施加电压， 使其发生形变，产生推力，推动传感器的膜片发生形变，导致传感器的输出电容 发生改变来实现对微位移的检测。此时，压电陶瓷 PZT 的探针是抵在传感器膜 片的中心点处，如果使用均布载荷模型进行计算和分析，将会产生较大的误差。 因此，本文提出了集中载荷模型，通过对均布载荷模型和集中载荷模型进行计算 和分析，可以提高厚膜电容式压力传感器的准确度及检测精度。 本文作者进行研究，所作的主要工作如下： 1. 论文对国内外精密位移测量技术的现状和进展进行调研，利用厚膜电容 压力传感器，采用电容测量的方法，通过力、位移、电容的传递模型来实现对 PZT 定位器的精密位移的测量。 2. 深入研究平行板电容传感器以及 PZT 精密位移定位器的工作原理及结 构，了解压电效应的原理及应用。 3. 论文根据厚膜电容压力传感器的膜片弯曲情况，提出了传感器的均布载 荷、集中载荷、同心圆载荷三种工作模型，并对其进行分析和研究。 4. 推导出三种工作模型的电容计算公式，并通过 MATLAB 仿真，画出膜片 弯曲曲线，计算出在小挠度情形下，三种工作模型的电容值。研究结果表明，传 II II 感器膜片在小挠度形变的情况下，当膜片中心点偏移量小于 4 μm 时，电容相对 误差小于 1.10%，可以采用均布载荷模型来计算电容值，当膜片中心点偏移量大 于 4 μm 时，要考虑传感器膜片的实际工作情况，采用集中载荷模型来计算电容 值，以提高其测量的精度及准确度。 关键词：厚膜电容压力传感器，PZT 定位器，均布载荷，集中载荷，MATLAB 英文摘要 英文摘要 PAGE PAGE IV Research on micro-displacement measurements with thick-film capacitive pressure sensors ABSTRACT In the late 1980s, thick-film capacitive pressure sensors is used to measure fluid pressure sensor, which is made by ceramic materials with special process. It has advantage of wide working temperature range, resistance to overloads strong, creep and little hysteresis, direct contact with corrosive liquids. It is widely used in petroleum, chemical, food, power machinery, biomedical engineering, meteorology, geology, seismic surveys, etc. Normally, the thick-film capacitive pressure sensors is used to measure pressure. For example, for atmospheric ,water and sound pressure measurement, etc. In these applications, the sensor’s diaphragm is working under uniform loading conditions, the uniform force model used to analyze and study. There is also an important application that can be used to measure displacement, for instance, PZT piezoelectric ceramic p