不同磁场组态的cr磁控溅射等离子体的诊断与分析材料学专业论文.docxVIP

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A A b stm C t T itle : D IA G N O S E A N D A N A L Y S IS O F C F- B A S E D M A G N E T R O N S P U T T E R IN G P L A S M A B Y D IF F E R E N T M A G N E T IC F !E L D C O N F IG U R A T IO N M aj o r: M a te ria ls S c ie n c e N a m e : Z h e n g C A O 51gnature:兰 生全夕 S u P e rv is o r : P ro f. B a ilin g J !A N G 5 ig n a tu re : A b s tra C t D istri b u tio n o f thr ee k in d s o f P lasm a P ar am eter( n *,氏,T e) at d iffe ren t m agn et ie fi eld eo n fi gratio n (d iffe ren t u n b alan ee coeffi eien t an d diffe ren t elo sed state) w as d iagn o sed an d eh ar a eteri stie ed b y L a n g n u ir P ro b e . Th e relat io n sh iP b etw e en io n d en sity d istri b u tio n fe atu re an d eo atin g th iekn ess d istri b u tio n (rad ial d ireetio ll) w as eom P ar ed ,th e d iffe ren ee an d th e re a so n s o f P la sm a d istri b u tio n e ffe c te d b y d iffe re n t u nb a lan e e e o e ffi e ien t an d d ifl 七re n t c lo se d stat e w a s b e e n stu d e id , th e in fl u e n e e o f C r c o at in g m icro m o rp h o lo g y e ffe c te d b y P la sm a d istri b u tio n w h ieh eh an g ed b y eh an gi n g m agn etie P ar am et er w as an aly sed . T h e re su lts in d ie a te th a t: P la sm a d e n sity w a s d e e re a se d a lo n g th e tar g e t to su b stra te d ire e tio n at th e p lace x 一om m (n i w as d eere ased 斤o m 7 .4 1 又 10 16/m 3 to 3 .4 1 x 10 16/m 3 斤o m 3 0m m to 2 1om m : n 。w as d eereased 斤om 2 .5 8 x 10 16/m 3 to 1.0 9 又 10 16/m 3 加 m 3 om m to Z lo m m ) w h ieh sim ilar to e o a tin g th ie k n e ss v a ri a tio

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