半导体材料-机电学院.PDFVIP

【半导体材料】 【SemiconductorMaterials】 一、基本信息 课程代码：【2080008】 课程学分：【3学分】 面向专业：【微电子学、电子科学与技术】 课程性质：【系级必修课】 开课院系：机电学院电子系 使用教材：主教材【杨树人编《半导体材料》（第二版），科学出版社，2004】 辅助教材【周永溶编《半导体材料》，北京理工大学出版社，1992】 参考教材【王季陶，刘明登编《半导体材料》，北京：高等教育出版社，1990】 先修课程：【半导体器件物理】、【集成电路工艺原理】 并修课程：【光电子技术基础原理】 后续课程：【太阳能电池技术】、【平板显示技术】、【深亚微米技术介绍】 二、课程简介 半导体材料是半导体科学发展的基础。半导体材料是一类具有半导体性能,可用来制作半导体器件 和集成电的电子材料。半导体材料的电学性质对光,热,电,磁等外界因素的变化十分敏感,在半导体材料 中掺入少量杂质可以控制这类材料的电导率.正是利用半导体材料的这些性质,才制造出功能多样的半 导体器件. 导电能力介于导体与绝缘体之间的物质称为半导体。本课程主要介绍半导体材料的分类以及 将来的发展详细介绍当今最普遍应用的硅材料以及第三代半导体材料半导体。 本课程的主要研究对象是半导体晶体生长方面的基础理论知识，,初步理解单晶材料生长、制备方 法以及常用的锗、硅、化合物半导体材料的基本性质等相关知识。通过本课程的学习，理解半导体材料 的相关知识，为后续的集成电路工艺及集成电路封装测试等相关专业课打好基础。 三、选课建议 该课程属于电子的基础类课程，适合微电子学/电子科学与技术专业的1或2年级本专科中，已学过 半导体器件物理的学生选修。 四、课程与培养学生能力的关联性 专业能力 尽 协 信息 国际 自主 表达 设计 逻辑 计算机控 工艺制 责 同 服务 应用 视野 工程制 学习 沟通 计算 分析 制和应用 程/测试 抗 创 关爱 图能力 能力 能力 能力 能力 压 新     五、课程学习目标 本课程的任务是使学生获得半导体晶体生长方面的基础理论知识,初步理解单晶材料生长、制备方法 以及常用的锗、硅、化合物半导体材料的基本性质等相关知识。 注：教学大纲电子版公布在本学院课程网站上，并发送到教务处存档。 六、课程内容 （一）半导体材料概述 具体内容：半导体材料的发展和现状，半导体材料分类，半导体材料的基本特性和应用。 1. 基本要求 (1)知道人类对半导体材料的使用和研究历史， (2)知道半导体材料的发展历史和基本特性和分类。 2. 重点、难点 重点：半导体材料的基本特性及其应用。 难点：硅晶体的各向异性。 3.说明：通过学习使学生知道半导体材料的发展历史和现状以及半导体材料的主要几个研究方向。 （二）硅和锗的化学制备 具体内容：硅和锗的物理化学性质，高纯硅的制备，锗的富集与提纯。 1.基本要求 （1）理解硅和锗的基本晶体结构和物理化学性质。 （2）理解化学提纯制备高纯硅的三氯氢硅氢还原法和硅烷法。（知道硅、锗的化学提纯） 2. 重点、难点 重点：高纯硅的制备。 难点：三氯氢硅的提纯。 3.说明：硅、锗的化学制备是半导体材料的制备工艺基础，经过这部分学习使学生知道高纯硅和锗的 化学制备方法。 （三）区熔提纯 具体内容：分凝现象与分凝系数，区熔原理，硅、锗的区熔提纯。 1.基本要求 （1）知道分凝现象与分凝系数；（2）理解区熔提纯的原理和技术 2.重点、难点 重点：区熔提纯原理。 难点：多次区熔与极限分布。 3.说明：区熔提纯是制备超纯半导体材料、高纯金属的重要物理提纯方法，同时也是研究