高科技产业概况.pdf

高科技產業概況高科技產業概況 – 微機電產業分析與介紹 組員： 鍾妮君 賴紅旭賴紅旭 8911422789114227 劉懿璇劉懿璇 劉如晏 一一 、、緒論緒論 微機電系統微機電系統(Micro(Micro-ElectroElectro- MechanicalMechanical System)System)簡稱簡稱MEMSMEMS 是目前科技界公認最具未來發展 潛力及前瞻性的研究領域 二二 、、微機電系統產業概況微機電系統產業概況 何謂微機電系統技術 （Micro Electro-Mechanical SSysttem, MEMSMEMS ）？）？ 是一種結合光、機、電、材、控制、物理、生 醫醫 、化學等多重技術領域之整合型與微小化系化學等多重技術領域之整合型與微小化系 統製造技術。 MEMSMEMS 可應用的產業可應用的產業範圍範圍 包括包括 ：： 資訊／通訊／消費性電子、 工業生產工業生產 、生醫保健生醫保健 、環保工安環保工安 、 國防工業國防工業 、、農林水產農林水產 、、太空航空太空航空… 等等 。 有關微機電的探討與研發有關微機電的探討與研發 世界微機械高峰會議世界微機械高峰會議(World(World Micromachine Summit) 。 ) 三三 、微機電系統的製造技術微機電系統的製造技術 配 合 合 薄膜成長 細 與 他 其 微 微 新 新 加 發 工 工 展 展 微影罩幕 技 的 術 術 精 精 。 加 密 工 工 蝕刻成型蝕刻成型 矽微加工技術方面又可分為矽微加工技術方面又可分為 以下三種以下三種 ：： 體型微加工技術體型微加工技術 （（BulkBulk micromachining ） 面型微加工技術（Surface i hi i ） micromachining ） 微光刻電鑄造模技術微光刻電鑄造模技術 （（LIGALIGA pprocess ） 體型微加工技術 （（Bulk micromachiningg ） 把矽晶片等材料當成一塊加工母 材，來作蝕刻切削的加工技術 。 常用的材料為矽晶片及玻璃常用的材料為矽晶片及玻璃 。 面型微加工技術面型微加工技術 （（SurfaceSurface micromachiningg ）） 是比較靠