金属膜电阻器稳定性的研究-微电子学与固体电子学专业论文.docxVIP

中文摘要金属膜电阻器是一种应用广泛的通用电子元件，尤其在需要高稳定性、高可 中文摘要 金属膜电阻器是一种应用广泛的通用电子元件，尤其在需要高稳定性、高可 靠性的太空、航空、国防阱及在电子计算机、通讯仪器、电子交换机中应用较多。 目前，国内外先进的制膜工艺是采用磁控溅射滚筒式沉积电阻合金膜。在金属膜 电阻器的生产过程中，靶材是非常关键的，它制约着金属膜电阻器的精度、可靠 性、电阻温度系数等性能。而国内生产的中高阻靶材溅射的金属膜电阻器稳定性 不好，高温储存试验、寿命试验、耐湿试验达不到国家军标的要求。此外，金属 膜电阻器的耐热、耐湿、耐腐蚀性能还直接与金属膜电阻器表面的保护涂料的性 能密切相关，而目前国产的涂料在耐高温、耐高湿方面还达不到国家军标的要求。 本文的研究课题就是在这种背景下提出并着手研究的。 针对提高金属膜电阻器的稳定性这一共同的目的，本文分为两个部分，第一 部分是金属膜电阻器高阻靶材的研制；第二部分是金属膜电阻器专用涂料基体的 研究。在第一部分中比较总结了目前国内外使用的各种金属膜电阻器靶材。根据 理论分析，提出了高稳定性的高阻靶材的配方及制备方法。经过反复实验，我们 最终确定稳定的靶材成分为：Si含量约为50％，Cr含量约为40％，Ni含量4％左 右，另外还有少量的Ti及其他元素。研究表明，添加适量的Ni能显著改善制得 的金属膜电阻器的耐湿性能，微量的Ti则能细化晶粒，提高靶材的致密性及稳 定性。此外，为了防止靶材的破裂，降低其内应力，自行设计了熔炼模壳及冷却 方法，有效的解决了靶材的开裂问题，使靶材熔炼的成品率达到90％以上。并解 决了熔炼过程中真空炉感应问题、污染问题和靶材原料的熔化问题。 在第二部分中，根据对国内外相应资料的总结与研究，选用有机硅改性的环 氧树脂来作为金属膜电阻器涂料的基体。这种复合基体能有效得利用有机硅树脂 优异的耐热性、耐候性、电绝缘性、憎水性、阻然性及耐寒性能，同时又具有环 氧树脂良好的粘结性、耐溶剂性及配伍性等优点。考虑到进一步提高复合基体的 耐热性和机械强度，采用纳米Si02粒子偶合有机硅对环氧树脂进行了改性。红 外(R)和热重分析(TGA)研究表明，纳米Si02粒子能显著的提高树脂基体 的耐热性能和疏水性能，改性的复合材料能在400。C以前无明显的热分解。SEM 研究表明，纳米SiCh粒子的加入能显著改善树脂基体的韧性和强度。由予时间 关系，目前还没有进行将该复合材料作为基体制成涂料的工作，这也是以后的工 作方向。 关键词：金属膜电阻器，溅射靶材，纳米复合材料，有机硅，改性 ABSTRACTMetal ABSTRACT Metal film resistor is widely applied in these fields such as outer space research， aviation，national defense，computer,and communication．High stability and high reliability is very important in these fields．Magnetron sputtering is common method for preparating metal film resistor．By this method，the target is very important for the performance of the resistor．The target determines the precision，reliability,stability and TCR of the resistor．On the other hand，the coatings play an important role in improving the heat—resistance and moisture-resistance of the resistor．However, nowadays the study in this field is some deficient in our country．This paper is commenced in such background． For the common purpose of improving the stability of metal film resistor,this paper includes two parts．The preparation of the target has been studied in the first part，the proportion of the material of the ta