基于钝化微分的压电微动平台犘犐犇控制.PDFVIP

第 卷第 期 压 电 与 声 光 ４１ １ Ｖｏｌ．４１Ｎｏ．１ 　 　 　 　 年 月 ２０１９ ２ ＰＩＥＺＯＥＬＥＣＴＲＩＣＳ＆ＡＣＯＵＳＴＯＯＰＴＩＣＳ Ｆｅｂ．２０１９ 文章编号： （ ） １００４２４７４２０１９０１００８９０５ 　　 基于钝化微分的压电微动平台犘犐犇控制 １ ２ １ １ １ １ １ １ 刘尔春 ，孙庆龙 ，卢志诚 ，惠相君 ，周鹏飞 ，汪家乐 ，孙靖康 ，崔玉国 （ 宁波大学 机械工程与力学学院，浙江 宁波 ； 首信自动化有限公司，河北 迁安 ） １． ３１５２１１ ２． ０６４４００ 摘 要：为避免压电微动平台在工作过程中受到扰动或冲击，采用改进比例、积分、微分（ ）控制器对其进行 ＰＩＤ 　　 　 控制。首先，在平台的ＰＩＤ控制器中引入低通滤波器，以降低微分环节对扰动或冲击的敏感性（即使微分环节对扰 动或冲击产生钝化效应），进而设计出了压电微动平台的改进 ＰＩＤ控制器；接着，基于所搭建的压电微动平台位移 测量系统，实验验证了所设计的钝化微分 ＰＩＤ控制器的效果。实验结果表明，在钝化微分 ＰＩＤ控制作用下，平台具 有较快的响应，达到 ５ ｍ阶跃 目标的响应时间为 ０．３ｓ，无超调；平台的定位误差显著减小，在跟踪最大值为 μ １５．２５ ｍ的变幅值三角波时，定位误差中线由无控制时的－０．７ １．２ ｍ减小为－０．１ ０．１ ｍ。 μ ～ μ ～ μ 关键词：微动平台；压电执行器； 控制；钝化微分 ＰＩＤ 中图分类号： ； ； 文献标识码： ： ／ ＴＮ３８４ＴＭ２２ＴＨ３９ Ａ 犇犗犐１０．１１９７７ ．ｉｓｓｎ．１００４２４７４．２０１９．０１．０２２ 　　 　　 ｊ 犘犐犇犆狅狀狋狉狅犾狅犳犘犻犲狕狅犲犾犲犮狋狉犻犮犕犻犮狉狅狅狊犻狋犻狅狀犻狀 犛狋犪犲犅犪狊犲犱狅狀 狆 犵 犵 犘犪狊狊犻狏犪狋犻狅狀犇犻犳犳犲狉犲狀狋犻犪犾 １ ２ １ １ １ ， ， ， ， ， 犔犐犝犈狉犮犺狌狀 犛犝犖 犻狀犾狅狀 犔犝犣犺犻犮犺犲狀 犎犝犐犡犻犪狀 狌狀 犣犎犗犝犘犲狀犳犲犻 犙 犵 犵 犵 犵犼 犵 １ １ １ ， ， 犠犃犖犌犑