基于液晶空间光调制器计算全息检测非球面方法研究-机械电子工程专业论文.docxVIP

万方数据 万方数据 Classified Index：O438.1 Dissertation for the Master Degree in Engineering A Method for Testing Aspheric Surface Using Computer Generated Hologram Based on Liquid Crystal Spatial Light Modulator Candidate: Zhou Hao Supervisor: Zhang Hongxin Academic Degree Applied for: Master of Engineering Specialty: Mechatronic Engineering Date of Oral Examination: March, 2016 Harbin University of Science and University:  Technology 哈尔滨理工大学硕士学位论文原创性声明 本人郑重声明：此处所提交的硕士学位论文《基于液晶空间光调制器计算 全息检测非球面方法研究》，是本人在导师指导下，在哈尔滨理工大学攻读硕士 学位期间独立进行研究工作所取得的成果。据本人所知，论文中除已注明部分 外不包含他人已发表或撰写过的研究成果。对本文研究工作做出贡献的个人和 集体，均已在文中以明确方式注明。本声明的法律结果将完全由本人承担。 作者签名： 周昊 日期： 2016 年 3 月 28 日 哈尔滨理工大学硕士学位论文使用授权书 《基于液晶空间光调制器计算全息检测非球面方法研究》系本人在哈尔滨 理工大学攻读硕士学位期间在导师指导下完成的硕士学位论文。本论文的研究 成果归哈尔滨理工大学所有，本论文的研究内容不得以其它单位的名义发表。 本人完全了解哈尔滨理工大学关于保存、使用学位论文的规定，同意学校保留 并向有关部门提交论文和电子版本，允许论文被查阅和借阅。本人授权哈尔滨 理工大学可以采用影印、缩印或其他复制手段保存论文，可以公布论文的全部 或部分内容。 本学位论文属于 保密 ，在 年解密后适用授权书。 不保密 √ （请在以上相应方框内打√） 作者签名： 周昊 日期： 2016 年 3 月 28 日 导师签名： 张洪鑫 日期： 2016 年 3 月 28 日 哈尔滨理工大学工学硕士学位论文 哈尔滨理工大学工学硕士学位论文 基于液晶空间光调制器计算全息检测 非球面方法研究 摘 要 非球面相对于球面来说具有扩大系统的视场角、改善光照均匀性、增大光 学系统的相对孔径、增加光学设计自由度、改善成像质量等优点。目前非球面 的加工制造技术日趋成熟，但是检测水平相对滞后阻碍了非球面在应用上取得 更大进展。 论文通过分析不同非球面检测方法的优缺点，利用液晶空间光调制器可编 程控制实时重构三维波前的特点，将其作为计算全息载体，提出一种非球面计 算全息干涉检测方法。首先确定了非球面面型测量方案，利用 ZEMAX 对所提 出的测量方案进行了序列模式和非序列模式下的仿真，仿真结果证明了该方案 的可行性；通过光学追迹设计了测量光路和其中的光学元件，根据测量方案， 加工了口径为 50mm 和 52mm 的非球面镜以及光路中的扩束透镜、补偿透镜； 搭建了实验光路，依据泰曼格林干涉原理，以液晶空间光调制器加载计算全息 产生的波前为参考光，进行了实验操作和分析。 为了提高测量效率，提出一种单幅干涉图分析方法：通过基于干涉条纹特 征的延拓方法对圆域干涉图进行延拓，对矩形域干涉图进行二维正、逆傅里叶 变换获得包裹相位图，再利用二维离散余弦变换解包裹重构出三维波面，通过 误差分离方法，得到最终的非球面面型偏差。将实验结果与 ZYGO 干涉仪直接 测量非球面的结果比较，验证了该测量方案能够实现非球面计算全息干涉测量， 测量误差 P-V 值小于 1.4 λ?，RMS 值小于 0.7 λ?。 通过 ZEMAX 的追迹仿真和测量实验的验证，表明基于液晶空间光调制器 计算全息干涉法检测非球面是一种高效、实时、通用性好的方法，降低了对空 气扰动和实验台抗振的要求，该方法对于实现非球面镜加工过程中的在线检测 具有较大的应用前景。 关键词 非球面检测；液晶空间光调制器；计算全息；相位解包裹；zemax I A Method for Testing Aspheric Surface Using Computer Generated Hologram Based on Liquid Crystal Spatial Light Modulator Abstract Aspheric surface has many excellent properties compared