光学玻璃研磨加工后亚表面损伤研究机械制造及其自动化专业论文.docxVIP

南京航空航天大学硕士学位论文 南京航空航天大学硕士学位论文 光学玻璃研磨加工后亚表面损伤研究 光学玻璃研磨加工后亚表面损伤研究 I I PAGE PAGE IV 摘 要 光学元件在研磨加工过程中引入的亚表面损伤会直接影响其使用寿命、稳定性、成像质量、镀 膜质量和抗激光损伤阈值等重要指标。因此，对研磨加工引入的亚表面损伤的准确测量是确定后续 加工过程的去除量、提高加工效率和保证亚表面损伤被完全去除的前提条件。本文综述了亚表面损 伤产生机理，采用差动腐蚀速率法和磁流变抛光斑点法测量了游离磨料和固结磨料研磨后 K9 玻璃 的亚表面损伤深度，通过比较以期获得一种快速、准确的亚表面损伤测量方法。本文的主要研究工 作和研究成果包括以下几个方面： 1. 采用差动腐蚀速率法测量游离磨料和固结磨料研磨后 K9 玻璃的亚表面损伤深度；研究不同 研磨方式对加工 K9 玻璃的亚表面损伤、材料去除率、表面粗糙度和表面形貌的影响；并分析它们 和金刚石磨粒粒径的关系；得出固结磨料研磨可以获得比游离磨料研磨更好的加工质量。 2. 采用磁流变抛光斑点法测量游离磨料和固结磨料研磨后 K9 玻璃亚表面损伤裂纹深度，分析 裂纹层深度和应力层深度与金刚石磨粒粒径的关系；并与差动腐蚀速率法测量的亚表面损伤深度对 比，得到两种不同加工方式研磨后 K9 玻璃的应力层深度，实验结果表明磁流变抛光斑点法测量亚 表面损伤时可以获得比差动腐蚀速率法更高的测量精度。 3. 阐述了光学材料的机械特性和亚表面损伤形成的机理，分别建立游离磨料和固结磨料研磨模 型，对模型进行仿真分析，结果表明固结磨料研磨加工产生的亚表面裂纹损伤比游离磨料研磨小。 适用于对光学材料的精密超精密加工。 最后，概括了全文的主要结论，并在此基础上对理论上和技术上尚存在的问题和所要做的进一 步工作做出了展望。 关键词：光学材料 亚表面损伤 固结磨料 游离磨料 差动腐蚀速率法 磁流变抛光斑点法 Abstract The life, stability, imaging quality, coating quality and laser induced damage threshold of the optical element are directly affected by subsurface damage(SSD) caused by lapping. Therefore, the accurate measurement of SSD depth is the prerequisite to ensure the HYPERLINK /dict_result.aspx?searchword=%e5%8e%bb%e9%99%a4%e9%87%8famp;tjType=sentenceamp;styleamp;t=removal%2Bamount removal amount in the subsequent processing and make sure that the SSD is removed completely. An overview of the generation mechanism of SSD is introduced. Differential chemical etching method(DCEM) and magnetorheological finishing spot method (MRFSM) are employed to measure the SSD depth of K9 glass lapped by free and fixed abrasive. A quick and accurate measurement method of SSD depth is obtained by comparing with DCEM and MRFSM. The main work and results in this paper are as following: DCEM was adopted to test the SSD depth of K9 glass lapped by abrasives and fixed abrasive. The relationship between the material removal rate, surface appearances, HYPERLINK /dict_result.aspx?searchword=%e8%a1%a8%e9%9d%a2%e7%b2%97%e7%b3%99%e5%ba%a6amp;tjType=sentenceamp;styleamp;t=surface%2Broughn