硅基光栅辅助反向耦合器的原理及应用研究-光学工程专业论文.docxVIP

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独创性声明 本人声明所呈交的学位论文是我个人在导师指导下进行的研究工作及取得的 研究成果。尽我所知,除文中已经标明引用的内容外,本论文不包含任何其他个人 或集体已经发表或撰写过的研究成果。对本文的研究做出贡献的个人和集体,均已 在文中以明确方式标明。本人完全意识到本声明的法律结果由本人承担。 学位论文作者签名: 日期: 年 月 日 学位论文版权使用授权书 本学位论文作者完全了解学校有关保留、使用学位论文的规定,即:学校有权保 留并向国家有关部门或机构送交论文的复印件和电子版,允许论文被查阅和借阅。本 人授权华中科技大学可以将本学位论文的全部或部分内容编入有关数据库进行检索, 可以采用影印、缩印或扫描等复制手段保存和汇编本学位论文。 本论文属于 保密□, 在 年解密后适用本授权书。 不保密□。 (请在以上方框内打“√”) 学位论文作者签名: 指导教师签名: 日期: 年 月 日 日期: 年 月 日 华 华 中 科 技 大 学 硕 士 学 位 论 文 I I 摘 要 随着科技的不断进步,世界上每天都会产生巨大的数据量,要完成对这些数据量 的高效处理,就需要高性能的计算系统,这就对互连技术提出了很高的要求。传统电 互连技术芯片依靠尺寸的减小、集成密度的提高、导线特征尺寸的减小,都可以进一 步提高芯片的性能,然而却会逐渐遇到瓶颈,用光互连取代电互连已经成为公认的有 效解决方案。 对于芯片内、芯片间的高速光互连,除了以光代替电这一基础做法以外,还可以 通过多种复用技术来进一步提升通信容量。人们已经在光纤通信中广泛使用的波分复 用、码分复用等技术,对于集成光波导也有着借鉴意义。近年来,人们已经着手实现 片上多种复用技术,本文正是在这一背景下,研究了光栅辅助反向耦合结构,并基于 该结构提出了实现多种复用技术的新方法。具体工作如下: (1) 分析了光互连以及硅基光子学的重要意义,对光波导理论、耦合模理论和计算 方法进行介绍; (2) 采用耦合模理论对光栅辅助反向耦合结构进行理论分析,对光谱特性的影响因 素进行了详细分析; (3) 就光栅宽度、波导间隔、光栅周期数以及光栅结构这四个结构参数对光谱特性 的影响进行了分析讨论,并总结了它们对带宽、波长、透过率等特性的影响; (4) 基于光栅辅助反向耦合器结构,提出了可应用于偏振复用的偏振分束器,详细 介绍了偏振分束器的设计方法;同时,我们还提出了能够同时实现波分复用和模分复 用的结构,这样可以进一步提高通信容量。对于设计出的结构,我们也进行了模拟仿 真以验证其可行性。并且,还对光栅辅助反向耦合提出优化改进的方案。 (5) 对光栅辅助反向耦合器进行了实际制作,通过设计不同的结构参数,获取它们 对耦合器谱线的影响,并结合之前的模拟结果进行了对比分析。此外,对于测试谱线 上的扰动,我们也对其成因进行了必要的分析与验证。 关键词:光栅辅助 反向耦合 偏振 波分复用 模分复用 II II Abstract As technology advances, the data produced per day all around the world will be a huge amount. We will need high-performance computing systems to complete the efficient processing of these data, which makes high demands to interconnect technology. Conventional electrical interconnect can further improve the performance of the chip by reducing chip size, increasing integration density and reducing the feature size of the wire, but it will gradually encounter a bottleneck. Replacing electrical interconnection with optical interconnection has been recognized as an effective solution. For the high-speed optical interconnection on-chip and between chips, a variety of multiplexing technology can be utilized to further enhance the communication capacity in a

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