光学自由曲面检测光路方案及关键部件设计研究-光学工程专业论文.docxVIP

硕L论文摘 硕L论文 摘 要 自由曲面光学元件有诸多优点，在光学成像系统中使用时，不仅町以有效校正 系统像差、提高成像质量，还可以减少系统单元数量及霞景。在高性能照明系统设 计中使用，可以有效提高光能利用率，为设计提供了相当大的自由度。尽管如此， 光学自由曲面还不能进入到现代光学系统的主流中去，问题之一就是高精度、快速 检测技术。 通过对光学自由曲面面形特征及描述方法的学习，总结了在光学设计中光学自 由曲面的表达方式。研究了目前光学自由曲面的检测方法，并进行分析比较，选出 一种最具优势的方法——在干涉光路中引入微透镜阵列产生多视场干涉图检测光 学自由曲面。本文围绕这一检测方法进行分析，得出在干涉光路中起关键作用的两 个光学元件：微透镜阵列和有限共轭等晕型标准球面透镜组。分别对这两个元件进 行分析，首先研究了传统标准球面透镜组的特点和j[作原理，分析了有限共轭等晕 型标准球面透镜组的特点及工作原理，通过对其进行基本的像差分析，确定可行的 光学结构，通过优化分析，最终设计出两组符合要求的标准球面透镜组，PV值均 优于％n。然后对微透镜阵列的基本结构和参数进行分析统计，得出其数值孔径所 处的数量级，并对实验室现有的微透镜阵列进行分析，设计出了增大微透镜阵列数 值孔径的光学系统，为实验平台的搭建做好了理论工作。 关键词：光学自由曲面，光学设计，ZEMAX，微透镜阵列，标准球面透镜组 Abstraet Abstraet 硕士论文 Abstract Optical free-form surfaces have many advantages，when applied in the optical imaging systems，not only Can they effectively eliminate the system aberration and improve the image quality,but also the quantity and weight of the system units call be reduced．When used in the design of high-performance lighting system，they Can effectively raise the utilization rate of the light energy,and offer a deal of freedom for the design at the same time．Even SO，optical free·form surfaces still Can’t make the entry into the mainstream of the modem optical system；one of the main obstacles is the lack of high precision Fast Detection Technique． From the study of the shape parameters of the free-form surfaces and their embody method，the description methods of optical free-form surface in optical design are summarized．By studying test techniques of optical free-form surfaces，the most advantageous method that based on the Twyman—Green Interometer with a modification is chosen．The specialty of this configuration is that micro-lens array introduced in the test alTll which will generate point source array as the test light in order to achieve multi—channel tilted pumping fronts and multi—