回转误差分离技术研究-机械电子工程专业论文.docxVIP

外，还有 :直线皮、平行度 、平面皮 、垂直皮、端面跳动 、径向跳动、全跳动、同 心皮、 同轴度、1，\uf心盐、锥皮、轮廓皮、间断表面坝 。当;:以及频谐·分析等。 .. . ? 图 1.1 Talyrond 395 圆校)Jt如l :@:仪 因 1.2 中原虫仪 RD3011 国11主仪 1到 1. 1 Ta1yrond 395 英国泰勒在普森有限公司的全自动 、超高精度几何形状测盐 系统，其:高精度主轴是金刚石车削的空气主轴，径向和剧 1向精度分别为 : 0.01μm 、 0.02μm; 标定具有可溯源性，标定破躏半球困度误差不大于 0.0 1μm; 传感器分辨率 可达到 1.2nm; 基j盔和1支撑框架之间设有主动防箴系统 ，消除误差来源，可以保证 精度和重复性:调心调平司实现主轴连续回转 ，且将偏心调整至 0.2μm 以内;仪器 设置外罩将测it1平台与外部环境隔离，以防止气流 、温度以及I噪声干扰对测id:机测 量精度造成影响 : 除了主轴精度外 ， 垂直立柱和l水平横臂的直线度分别为 0. 1μm+O.0002μm1mm 、0.125μm+O.000625μm1mm; 主要致力于壮绝干 扰源及提高测 量机各苓部件的精度 ，提高测量小环境的稳定性。国 1.2 为国内中原量仪厂 RD3011 阴度仪，主辅精度 :土0.025μm ，系统精度 :三0.05μm. 采用高精度气浮主轴作为测 基准。 上述分别采用国内外具有代表性测#仪器之一，说明坝。id仪器在当前发展的 状 况，以精密导轨 、主轴及采样技术 的发展为动力 ，测量仪的精度整体是不断提高的 ， 但对比国内 外困度仪精度指标 ，还是存在差距 ，边切要求提高国内测#机的测 精 度，在不改变测♀机机械结构下，采用误差分离技术这种软技术提高测量机的 测量精度 ，也是发展方向之一 ，是国内测量机发展的方向。 1. 3 本文课题来源 本文研究内容来自国家自然科学基金项目基于新一代几何产品技术规范的圆 柱体直径的测量 、评定及相关问题的研究 (项目编号: 和阿南省教育 ，、 3 4 4 厅自然科学基金项目柱坐标测 量 中的相关问题的研究(项目编号 :2007460031)。 本文针对回转误 差分离的相关 问题展开研究， 主要研究内容如下 : ( 1 )在分析现有回转误 差分离技术的基础上，研究多周法的回转误 差分离的理 论与技术 。 (2)用 Visual Basic 编程基于多用法的回转误 差与分离技术程序 。 (3)以中原工学院开发的圆柱体直径与形位误 差综合测id仪为实验仪器，逝行 回转误差的分离实验 。 (4)在相关实验的基础上，研究多周法回转误 差分离技术的可靠性和i相关因素 对分离结果的影响问题 。 1.4 本文内容安排 本文共分为五章，各章的 主要内容如下 : 第 l章为绪论介绍了课题研究意义 ，对国内外研究现状进行了综述 。 第 2 章以多步法为基础，阐述了多周法回转误 差分离技术的基本原理，建立了 相应的棋型，并对其频域特性和 l时域特性进行了分析比较 。 第 3 章以第 2章建立的模型为 基础，用 Visual Basic 编制了回转误 差分离技术 程序，井给出了主要程序界面 。 第 4 章以中原工学院开发的圆柱体 直径与形位误差综合测量仪为实验仪器进行 了相关实验，对影响回转误 差误差分离技术的影响因素进行了分析 。 第 5 章结合同一截面的困轮廓图形 ，分析了分离轮廓的 一致性 ，井说明误差分 离对圆度误 差评定结果的影响 。 第 6 章给出了本课题的研究结论，并对本课题的研究进行了展望。 2. 回转误差分离的基本原理 2. 1 回转误差的基本思路 误差分离技术的基本思想就是根据被测 工件轮廓不变这一特性，通过测量传感 器输出信号，利用数学分析和建棋，分离 工件的形位误 差和测拉机构的运动误 差 ， 最终可以得到被视。工件的其实轮廓，从而提高精度:回转误 差 的分离也 同样是利用 被测工件轮廓不变这一特性进行分离，如图 2. 1 所示为回转误差分离示意圈， (a) 为测量仪的传感器探头测出来的轮廓信号 ，(b) 为被测工件的原始真实轮廓， (c) 为回转运动误 差 ，眼据误差分离的基本思想可知， (b)、(c) 二者 的组合信号轮廓 就是 (a) 轮廓阁，也即在应用误 差分离前测量仪传感器探头测出来的轮廓信号， .(，t..:t.l_ (功测量实际轮廓 + 时 1... .. 01 (; .…- .(_b) 分离后真实轮廓 ( c ) 回转造动误差 因 2.1 回转误差分离示意剧 所以在后丽的误差分离 技术的分析中，被分离出来的 工件轮廓应该是 一致的， 这样才可以体现误 差分离的