洁净室运转 与维护管理培训内容资料.pptVIP

《洁净室运转与维护管理培训》;前言;一.保证洁净室内要求的空气温度和相对湿度;二、保证洁净室内洁净度; 无尘室的污染源可分为外污染及内污染源。外污染源主要包括空调送风、间隙渗入、建筑物、工作服、风管材料以及一般性气体如N2、O2、空气、给水、溶剂等；而内污染源则包括制程设备、工作人员、工具、加工制程、隔间材料、工作桌、包装材料等，图2为微尘粒子的传送路径 。;微污染源的控制基本原则有四点： 1.外部尘埃侵入的防止： 　　 无尘室适当的正压保持（0.5mmAq），做好施工工程不漏气，人员设备、原材料搬入无尘室前先做好清洁擦拭等防尘动作，空气过滤器适当的管理和设置（并按期或结合实际情况及时清洗更换）。 2.室内发尘的防止： 隔间板、地板等无尘室材料的适当选用、制程设备的发尘抑制、生产自动化及人员不聚集;动作放松、洁净衣的管理、使用无尘室专用器具等。 3.室内发尘的不积留： 　　 墙壁体应光滑无死角、无尘室需定期保养和清扫、制程设备四周应留有空间。 4.发生尘埃的排除： 　　 换气次数应足够，适当的空间布置以及污染源接排气和空调的气流速度须适当。;（1）进入无尘室的人员，必须要达到高洁净度标准，并要维持最好状态的观念。 （2）作业人员进入无尘室数目以维持最小限度原则（愈少愈好），并须依无尘室进出标准流程进出无尘室。 （3）对作业人员