面向芯片封装的高速精密定位平台控制系统设计-机械制造及其自动化专业毕业论文.docxVIP

摘要本文以开发面向IC封装的高速、高精度定位系统为目标，以两自由度笛卡 摘要 本文以开发面向IC封装的高速、高精度定位系统为目标，以两自由度笛卡 尔坐标型高速、高精度定位平台为对象，研究了提高其速度与精度的控制策略 和方法，并建造出XY精密定位平台样机一台。取得如下成果： 口采用直线音圈电机直接驱动的两自由度笛卡尔坐标型高速、高精度定位平 台，并采用新型弹性解耦机构，从而将驱动部件置于底座上，减轻了运动部 件的重量，降低了惯量，同时具有传统xY精密定位平台运动学解耦的特点 口将x轴向和Y轴向定位平台等效为集中质量系统，分别建立了x轴向和Y 轴向定位机构的动力学模型，并建立了直线音圈电机的动态方程。最终，结 合系统特点，建立了系统的机电耦合模型。 口在系统机电耦合模型基础上，应用最小节拍响应控制策略进行控制，该方法 以最小的超调量快速达到稳态响应的允许波动范围，并能持续保持在该波动 范围内的时间响应为前提，对控制参数进行优化调整，最终得到理想的控制 结果。理论分析和实验证明，能够满足封装设备的精度、速度需求。 口针对上述理论分析，采用激光干涉仪对平台进行实验分析，最终得出运动平 台系统的性能指标。 口基于上述研究成果，建造出基于直线音圈电机直接驱动采用新型弹性解耦机 构的XY精密定位平台样机一台。样机具有很高的运动速度和极高的运动加 速度和定位精度，单轴机构稳定时间很短。目前，该样机已经通过国家高技 术研究发展计划(863计划)专家组的验收。 以上工作对于推动高速高精密芯片封装设备控制方法研究，拓展其工程应 用具有重要的意义。 关键词：定位平台，封装，动力学建模，最小节拍响应，直线音圈电机 ABSTRACTAimed ABSTRACT Aimed at a two DOF high speed and high precision positioning table for IC packaging，this dissertation deals with the control strategies to eIlllance its speed and precise ale presented．As a result,a prototype machine of XY table has been developed．The following creative works have been completed． 口A voice coil actuator direct-drive high speed and high precision XY table patented has been developed．A new flexible decoupling mechanism is proposed to u∞in the table．So the driving element call be mounted on the base and the moving inertia has been reduced．Meanwhile，the table is of conventional XY precision table kinematics decoupling characteristic． 口Considering the precision positioning table弱lumped mass spring system，the dyn锄ic model of X axial table and Y axial table has been developed respectively．The analytic solution of displacement step responses and displacement impulse responses ofthe X axial table and Y axial table have been given by use of Laplace transform method．The dynamic model of the lineal voice coil actuator is formulated．too．111e above outcomes the electro mechanical coupling control system ofthe positioning table． 口Based on the electro mechanical coupling control system ofthe positioning table， the minimum deadbeat response controlling