半导体敏感元件(热敏元件与温度传感器).ppt

3热电阻 3热电阻 沈 阳 工 业 大 学 热敏元件与温度传感器 本章主要内容 1.概述 2.热电偶 3.热电阻 4.半导体陶瓷热敏电阻 5.硅电阻温度传感器 6.半导体热敏二极管 7.集成温度传感器 1.概述 液体膨胀式温度计 固体膨胀式温度计 玻璃管温度计 双金属温度计 温度最本质的性质 当两个冷热程度不同的物体接触后就会产生导热换热，换热结束后两物体处于热平衡状态，则它们具有相同的温度。 温度 分类 接触测温 非接触测温 热辐射测温 热传导测温 热阻式 热电式 金 属 热电阻 半导体 半导体陶瓷热敏电阻 热电偶 温 度 传感器 → 敏感元件 → 电参数 PN结式 集成温度传感器 测量方法 1.概述 热敏二极管 热敏三极管 温度传感器 2.1 工作原理（热电效应，或称为赛贝克效应） 两种不同导体构成闭合回路 两个节点（A、B）温度不同 温差电势（汤姆逊电势） σA-汤姆逊系数 接触电势（珀尔贴电势） 不同导体→自由电子密度不同→扩散→电势 同一导体→两端温度不同→电子迁移（高→ 低） →电势 2.热电偶 电动势 若两种导体相同： NA=NB → E=0 若两端无温差： T=T0 → E=0 两种特殊情况 2.热电偶 2.1 工作原理 =F(T)-F(T0) 若T0为常数， E(T,T0)=F(T)-C 注：热电偶热电势的大小，只是与导体A和B的材料有关，与冷热端的温度有关，与导体的粗细长短及两导体接触面积无关。 2.2热电偶基本定律 中间导体定律 2.热电偶 中间温度定律 热电偶中接入第三种材料，只要接入材料两端温度相等，热电偶总热电势不变。 B B A T2 T1 T3 A A B EAB（T1, T3）=EAB（T1, T2）+EAB（T2, T3） 2.3 常用热电偶材料 K -40 ~ 1300 ℃ 镍硅 (97.5%,2.5%) 镍铬 (90%,10%) B 0 ~ 1800 ℃ 铂铹6 铂铹30 R 0 ~ 1600 ℃ 纯铂 铂铹13 S 分度号 0 ~ 1600 ℃ 纯铂 铂铹10 实用使用测温范围 材料 2.热电偶 分度表--热电势与热端温度之间关系列成表格 冷端为0 ℃ a) 普通热电偶： 结构：1-热电极 2-绝缘套管 3-保护套管 4-接线盒 b) 铠装热电偶： 结构：热电极 + 绝缘材料 + 金属保护套 c) 薄膜型热电偶： 2.热电偶 2.4 热电偶结构 特点：细长(1~3mm)，可以弯曲，挠性好，强度高测端热容量小，动态响应快(0.01s)。 具有热容量小, 反应速度快等的特点, 热相应时间达到微秒级。 普通工业热电偶 2.热电偶（thermocouple） 2.4 热电偶结构 普通工业热电偶 铠装热电偶 表面温度热电偶 2.5 热电偶的冷端补偿 热电势: A 0℃恒温法 测 温: 获得T → T0固定 → T0=0℃（冷端） 冷 端：干扰、波动 ? T0?0 ? 误差 ? 冷端温度补偿 冷端温度补偿方法： 2.热电偶 适用于实验室中的精确测量和检定热电偶时使用 冷端温度补偿方法： 2.热电偶 设：冷端温度恒为t0（t0≠0）被测温度为 t 修正公式 冷端 t0的热电势 测量得出的热电势 被测温度 t 的热电势 将显示仪表的机械零点调至t0处，相当于在输入热电偶热电势之前就给显示仪表输入了电势E(t0, 0)。 B 冷端温度修正法 C仪表机械零点调整法 材料：纯金属 ---铂、铜、镍、铁 原理：热能 ? 热电阻 ? 电阻值 温度? ? 热电阻 阻值? 在0～630.74℃范围内，金属铂的电阻值与温度的关系为 当-190℃t0℃时 A=3.96847×10-3/℃,B=-5.847×10-7/℃2,C=-4.22×10-12/℃4 铂电阻 T R 热电阻 特点： (1) 在高温和氧化介质中性能极为稳定，易于提纯，工艺性好。不能用于还原介质 。 (2) 输入输出特性接近线性 构成： 金属铂丝(0.02~0.07mm)绕制成线圈 在-50～180℃范围内，金属铜的电阻值与温度的关系为 温度0℃时的电阻值 α:铜电阻温度系数（4.25×10-3- 4.28×10-3/℃) 铜电阻 热电阻结构 3热电阻 铂电阻温度传感器采用日本进口薄膜铂电阻元件精心制作而成，具有精度高，稳定性好，可靠性强，产品寿命长等优点, 适用于小管道（1/2英吋~8英吋）以及狭小空间高精度测温领域，与二次显示表以及PL