传感器及应用第2版 教学课件 ppt 作者 王煜东 主编理论课教案9第3章3、7.docVIP

传感器 第 PAGE 3 页 共 NUMPAGES 3 页 3.3 光栅传感器及应用 光栅是根据莫尔条纹原理制成的数字式传感器，广泛应用于数控机床等闭环系统及精密位移测量，只要能够转换成位移的物理量，如速度、加速度、振动、变形等，均可测量。 3.3.1 光栅的类型与结构 【类型】透射光栅和反射光栅，黑白光栅（辐射光栅）和相位光栅（炫耀光栅）；直线光栅和圆光栅。 【结构】黑白透射直线光栅是在镀有铝箔的光学玻璃上，均匀地刻上许多透光栅线。设栅线宽为a，线间缝宽为b，a+b=W称为光栅节距(栅距)。目前常用10、25、50、100、250线/毫米。使用时，长光栅运动，称为标尺光栅；短光栅固定，称为指示光栅。 【光栅副】如图3-10所示是直线黑白透射光栅读数头布置与截面图。光源（LED）通过光栅副形成莫尔条纹，由光敏三极管转换成电信号。从截面图看出，标尺光栅牢固地安装在一个坚固的刚性框架内，与指示光栅和读数头构成组件，以便于快速地安装到机床的相对运动部件上。刚性框架上有良好的密封，可防止油污、尘埃和切屑等损害标尺光栅。 3.3.2 莫尔条纹的形成原理和特点 1.莫尔条纹的形成原理 对于栅距远大于光波长的粗光栅，可利用几何光学的遮光原理来解释。如图3-11所示。 2.莫尔条纹的宽度 由图3-11b可求出：B≈W(mm)/θ(弧度) 3.莫尔条纹的特点 ①对位移的光学放大作用：②连