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无机盐工业 第 45 卷 第 1 期
4 INORGANIC CHEMICALS INDUSTRY 2013 年 1 月
四氟化硅的工艺研发及进展状况
韩建军 李 霞 王建萍
， ，
多氟多化工股份有限公司 河南焦作
（ ， 454191 ）
摘 要 四氟化硅是电子工业中的一种重要原料 随着多晶硅等行业迅猛发展需求量逐渐增大 详细介绍了四
： ， 。
氟化硅的应用及市场情况 并对氟气合成法 氟硅酸盐热解法 硫酸法 氢氟酸直接反应法这 种主要生产方法进行
， 、 、 、
4
详细论述 讨论了各工艺方法的生产原理 工艺简述 研究状况并对工艺的优缺点进行了评价 就目前市场形势分
， 、 、 。
析 国内四氟化硅需开发高端产品 以适应市场需求和参与国际竞争
， ， 。
关键词 四氟化硅 氟硅酸 氢氟酸 氟气
： ； ； ；
中图分类号： 文献标识码： 文章编号： （ ）
TQ127.2 A 1006-4990 2013 01-0004-04
Research and development on process of silicon tetrafluoride and the progress thereof
， ，
Han Jianjun Li Xia Wang Jianping
（ ， ， ， ）
Do-Fluoride Chemical Co. Ltd. Jiaozuo 454191 China
：
Abstract Silicon tetrafluoride is an important raw material in the electronics industry.Its demand gradually increases with the
rapid development of polysilicon and other industries.Applications and market conditions of silicon tetrafluoride were intro-
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