氧化添加物与加热气氛对氮化铝陶瓷烧结行为之研究-eTop-工程科技.pdf

行政院國家科學委員會專題研究計畫 成果報告 氧化添加物與加熱氣氛對氮化鋁陶瓷燒結行為之研究 研究成果報告(精簡版) 計 畫 類 別 ： 個別型 計 畫 編 號 ： NSC 99-2221-E-276-003- 執 行 期 間 ：99年08月01日至 100年07月31日 執 行 單 位 ： 美和學校財團法人美和科技大學通識教育中心 計 畫 主 持 人 ： 溫紹炳 處 理 方 式 ： 本計畫涉及專利或其他智慧財產權，1年後可公開查詢 中 華 民 國 100 年 10月 24 日 附件一 ■ 成 果 報 告 行政院國家科學委員會補助專題研究計畫 □期中進度報告 氧化添加物與加熱氣氛對氮化鋁陶瓷燒結行為之研究 計畫類別 ：■ 個別型計畫 □ 整合型計畫 計畫編號 ：NSC99-2221-E-276-003 執行期間 ： 99 年 08 月 01 日至 100 年 07 月 31 日 計畫主持人 ：溫紹炳 共同主持人 ：溫雅蘭 計畫參與人員 ：溫侑芳碩 士生 、劉德憶 、李宜璉學士生 成果報告類型依經費核定清單規定繳交( ) ：■精簡報告 □ 完整報告 本成果報告包括以下應繳交之附件 ： □赴國外出差或研習心得報告一份 □赴大陸地區出差或研習心得報告一份 □ 出席國際學術會議心得報告及發表之論文各一份 □國際合作研究計畫國外研究報告書一份 處理方式 ：除產學合作研究計畫■ 、提升產業技術及人才培育研究計畫 、 列管計畫及下列情形者外 ，得立即公開查詢 □ 涉及專利或其他智慧財產權 ，□一年□二年後可公開查詢 執行單位 ：國立成功大學資源工程系 中 華 民 國 100 年 10 月 15 日 氧化添加物與加熱氣氛對氮化鋁陶瓷燒結行為之研究 NSC99-2221-E-276-003 摘要 氮化鋁在 1980年代成為封裝基板的熱門材料之ㄧ，近年來更是發展LED綠能產業的 關鍵散熱材料 。氮化鋁 相較於低導熱的氧化鋁與高導熱的氧化鈹 (BeO ) 陶瓷體 ，它具 有相當高的導熱性與 不具有毒性的特點 ，在電性質 之介電常數 、介電損失 、絕緣電阻及 介電強度等以及機械性質之彎曲強度和熱膨脹係數 等都具有優異性質 ，總體而言是可媲 美氧化鋁及氧化鈹 。雖然氮化鋁陶瓷體的 熱傳導率會隨著溫度增加而 稍微減少 ，但是在 一般IC工作溫度範圍內 ，它的熱傳導性質仍然優良 。 研究 結果顯示氮化鋁共添加 次微米燒結助劑氧化釔 (Y O ) 、氧化鐿 (Yb O )和碳酸 2 3