AlN粉体及陶瓷的制备 结构与越性能研究.docx

优秀毕业论文 精品参考文献资料 国防科学技术_ 国防科学技术_人学研究生院学位论文 摘 要 A1N具有高的热导率性能，可作为混合集成电路基板材料的侯选者，已经 引起越来越多的材料研究者关注。高质量的A1N粉体是制备高热导A1N陶瓷的 前提，传统的碳热还原方法存在合成温度高等缺点，有必要对其进行改进以进 一步优化工艺和降低生产成本，研究A1N粉体的烧结性能、降低AIN陶瓷的烧 结温度是A1N基板应用的一个重要环节。 本论文对碳热还原A1N微粉的合成、低温燃烧先驱体制备A1N纳米粉进 行了研究，探讨了反应温度、气氛、不同铝源对碳热还原法合成A1N微粉的组 成和结构的影响；研究了先驱体在低温燃烧中的形成过程、影响因素和形成机 理；研究了A1N粉体的烧结特性，对AIN陶瓷的高热导率和显微结构的关系进 行探讨；研究了热压AIN体晶的择优取向。 通过热力学计算，分析了采用碳热还原法合成A1N粉末的热力学趋势，绘 制了各凝聚系统的热力学平衡相图，以此为指导，系统地研究了不同工艺参数 对合成AIN物相、粒度和形貌的影响。AIN晶种和CaF2的最佳添加量分别为 5Wt％年1]2．5～3．5Wt％左右。最佳氮气流量和压力分别为50ml／min和1．4X 105Pa，AI(OH)3／活性碳重量比为1：1，在石墨碳管炉中于1550 4C下保温6个 小时制备出N=33．3Wt％，O=1．18 Wt％，C=0．12 Wt％的A1N粉体，其颗粒平均 尺寸为2．5ixm。 在1700～1800℃下保温1～4个小时以d—A1203(～25 u m)为铝源，利用碳 热还原反应合成出含亚稳立方AIN相的复合粉体，随着反应的进一步进行，亚 稳立方A1N相可转变为稳定的六方A1N相。结合TEM、XRD和DTA．TG分析， 对碳热还原反应提出了一种新的反应机制。 对硝酸铝．尿素．蔗糖(淀粉或葡萄糖)前驱体溶液进行低温燃烧，可以获得 呈原子级均匀混合的不定形氧化铝和碳的先驱体，前驱体粉末为比表面积巨大 的片状颗粒。利用HREM、EDS、IR分析提出了先驱体溶液的燃烧机理：首先 是先驱体溶液中硝酸铝和尿素经羰基氧形成一个反应中间体Al(N03)3 X·CO(NH2)2·yH20；进一步加热中间体分解得到不定形A1203。而有机碳源 在低温燃烧过程中通过发生裂解和脱水反应而得到不定形碳，在先驱体中无定 形氧化铝和碳呈原予级水平均匀混合。 第i页 国防科学技术大学研究生院学位论文首次系统地研究了反应温度、不同碳源对 国防科学技术大学研究生院学位论文 首次系统地研究了反应温度、不同碳源对AIN纳米粉组成及结构的影响。 由于碳源的性质不同，在先驱体形成过程中的氧化程度不一样，因此导致不同 的碳源损耗，因此需要额外增加不同含量的碳源。在先驱体溶液中，对蔗糖、 葡萄糖和淀粉来说，其C／A1摩尔比应该分别控制在6、6、8以上，而尿素／硝 酸铝的摩尔比则控制在2．5左右。不同碳源对合成A1N纳米粉的形貌、晶体结 构等差异不大，在1500。C保温3小时的条件下成功的制备了粒度为60～100nm、 颗粒尺寸分布狭窄、少团聚的AlN纳米粉体，其N含量为32．5Wt％，氧含量为 1．8 Wt％，表面积在21．91～30．5m2儋。 结合HREM、XRD、XPS以及NMR分析，探讨了纳米AIN粉体的合成机 理，认为在反应的开始阶段，碳逐渐向先驱体中形成的细小A1203颗粒表面迁 移；在反应的最终阶段，碳则停留在所合成的A1N颗粒的表面。在反应温度超 过1200℃时，反应气体N2以及产物气体C02等通过先驱体颗粒之间气孑L分别 向内和向外扩散，随着反应的进行这些气体被形成的碳层所阻碍。据此碳热还 原氮化反应是从巨大的先驱体颗粒表面上的Y—A1203开始，然后向先驱体颗粒 内部的Y．A1203推进，对每个Y．A1203颗粒而言，氮化速率非常快。在反应过 程中没有发生q．A1203转变。 系统的研究了A1N粉体的烧结性能。结果表明A1N纳米微粉具有非常好的 烧结活性，在1700(2保温4小时下能获得几乎完全致密的AIN烧结体(体密 95％以上)，在添加3wt％Y203后，在1600(2保温4小时AIN烧结体就可获得 致密化。对A1N微粉而言，在无烧结剂和l 800 6C保温4小时条件下只获得体密 68％的A1N烧结体；当添加3们％Y203后，在相同条件下则可获得90％的致 密烧结体。纳米A1N粉体能使烧结温度降低，无烧结剂时纳米AIN与其表面的 A1203反应形成连续的AION晶间相，提高AIN在晶界中的传质速率，从而能 在1700。C的低温下使纳米A1N致密化；当添加助烧结剂Y203时，Y203与A1N 表面的A1203反应生成钇铝酸盐(YAM，YAP或者YAG)，AIN和钇铝酸盐的 反应能造成共熔点