光电测试技术n.pptVIP

* * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * §4-7 纳米技术中的干涉测试技术 7.2 光子扫描隧道显微镜（PSTM—Photon Scanning Tunneling Microscope） 原理：用光探针探测样品表面附近被内全反射光所激励的消逝场，从而获得表面结构信息。其分辨率远小于入射光的半波长，突破了光学显微镜半波长极限的限制。 PSTM的原理和工作方式在许多方面与STM非常相似。STM是利用电子的隧道效应，而PSTM则是利用光子的隧道效应，如所示。 工作原理： 光电倍增管 位移控制 与反馈 计算机 光纤探针 内全反射光 光纤探针 消逝场 样品表面 图4-49 PSTM原理示意图 媒质1 媒质2 压电陶瓷 及控制器 * §4-7 纳米技术中的干涉测试技术 7.2 光子扫描隧道显微镜（PSTM—Photon Scanning Tunneling Microscope） 全反射测量形貌的准确度比较高；且区域形貌的信息量大；可以几乎不接触被测表面；测量装置以及数据处理简洁。 与其它类型的光学显微镜相比，PSTM提供了在亚波长级分辨水平上的三维表面形貌，且其切线方向的分辨力可达到十分之一波长，垂直于样品方向的分辨力主要是受到电子线路的限制，得到纳米级或更高的分辨力是容易办到的。 * §4-7 纳米技术中的干涉测试技术 7.3 亚纳米零差检测干涉系统 零差干涉系统的基本光路是由平板玻璃和探针上表面构成的F-P干涉仪，其平均间隔为z0，由光电探测器检出干涉光强。在力显微镜中零差干涉系统的作用就是检测扫描探针的振幅（振幅随被测表面的起伏变化）。当探针臂的振幅为A，振动频率为ω，光传播方向为z方向，探针臂的运动方程为 干涉光强为 激光器 扫描探针 平板玻璃 光电探测器 图4-50 零差检测干涉系统光路图 被测样品 * §4-7 纳米技术中的干涉测试技术 7.3 亚纳米零差检测干涉系统 由于被测振幅远小于波长，即4Aπ/λ1，展开上式，分别写出其直流分量、一次谐波、二次谐波分量为 * §4-7 纳米技术中的干涉测试技术 7.3 亚纳米零差检测干涉系统 调节F-P干涉仪，分别测出一次谐波、二次谐波分量的光电流为 则 利用锁相放大器很容易测出正交状态的一次和二次谐波分量。 零差干涉方法的缺点是测量信号与z0有关，因为热和机械的原因都会改变z0，从而影响测量的准确度。 * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * §5-3 激光全息干涉测试技术 3.2 全息干涉测试技术 ①静态二次曝光全息干涉法 现在将两物光波的复振幅分布代入第二项，则有： 其相应的强度分布为： 透射光波中出现条纹。该条纹是由物体在前后两次曝光之间变形引起位相分布 的变化引起的。 * §5-3 激光全息干涉测试技术 3.2 全息干涉测试技术 ②实时法全息干涉 原理：将对物体曝光一次的全息图经显影和定影处理后在原来摄影装置中精确复位，再现全息图时，再现像就重叠在原来的物体上。若物体稍有位移或变形，就可以看到干涉条纹。 设物光波和参考光波在全息底片上形成的光场分布分别为： 经过曝光、显影和定影处理后得到的全息底片透射率分布为： * §5-3 激光全息干涉测试技术 3.2 全息干涉测试技术 ②实时法全息干涉 把经过处理后获得的全息图复位，并用原参考光波R和变形后的物光波A1同时照射全息图，设变形后的物光波 透过全息图的光场复振幅分布是 * 物光A 参考光R 全息图 a)记录过程 物 物光A1 再现光R 全息图 b)再现过程 变形后物 Ⅲ Ⅰ,Ⅵ Ⅱ,Ⅳ Ⅴ 图4-24 实时法全息图的记录与波面再现 * §5-3 激光全息干涉测试技术 3.2 全息干涉测试技术 ②实时法全息干涉 由第二项和第四项光叠加后的复振幅分布为 叠加后的光强分布是 干涉后的光强分布仅仅与原物光波和变形后的物光波的相位差有关。当这一相位差分别等于π的偶数倍或奇数倍时，就分别得到亮条纹或暗条纹。 实时法全息干涉技术在实际工作中要求全息图必须严格复位，否则直接影响测试准确度。 * §5-3 激光全息干涉测试技术 3.2 全息干涉测试技术 ③时间平均法 多次曝光全息干涉技术的概念可以推广到连续曝光这一极限情况，结果得到所谓的时间平均全息干涉测试技术。这种方法是对周期性振动物体做一次曝光而形成。当记录的曝光时间大于物体振动周期时，全息图上就会有效地记录许多像的总效果，物