薄膜厚度与折射律的测量.docxVIP

當濮專决鸟折射律的測量 在三级实验中测量薄膜厚度与折射律的方法共介绍了两个：椭圆偏振光法和 迈克尔逊方法。 一、椭圆偏振光法测定介质薄膜的厚度和折射律 思路： 在一光学材料上镀各向同性的单层介质膜后，光线的反射和折射在一般情况 下会同时存在的?通常，设介质层为山、ii2、lb,e为入射角,那么在1、2介质交界 面和2、3介质交界面会产生反射光和折射光的多光朿干涉，如图(1-1) 2面 而质膜底 介薄衬 2 面 而 质膜底 介薄衬 用rip、ns表示光线的p分量、s分量在界面1、2间的总反射系数，用②、 %表示光线的P分、s分量在界面乙3间的总反射系数. cos (p - n() cos(p\cos (p cos (p - n() cos(p\ cos (p + n0 cos (p、 n() cos^-7?)cos(p} n(} cos0+? cos(px n2 cos(p} -nx cos % n2 cos(p} + ? cos % nx cos% -n2 cos % ? cos? +h2 cos? 膜上反射的两相邻光束的相位差 》= ￥?2?dcos% 定义该薄膜系统的总反射比为: D (E) 勺+印严° [\ — = “ (E) 1 + W2 严 二 ?),? 二 ?),? (E) 7 + 丫20 1+M严 定义 （E） R—耳 ^r~nx（E）r +r严tg if/exp（ （E） R—耳 ^r~nx （E） r +r严 tg if/exp（込）一 ip 2p t -H X1 7 yz E ? exp[i（0p 一0$力-K0p 一0）]=（ ； .exp[K0『 -0J] = rg鸭exp（込） \Ep .7 + DsC 1 + 严1 +皿2严 妙和△是口J以用椭偏仪测量的量，△的物理意义是椭I员I偏振光的P波和 S波间的相位差经薄膜系统反射后发生的变化，tan0是椭圆偏振光相对振幅的 衰减。 而f 2,0/1都是已知的，可通过测量0和4,然后通过计算机算出?,〃。 / 、或 / 、 或2吩,0＜吨时的等幅椭圆偏振光。 简化： 设定P轴为零点，正对光束行进方向，逆时针旋转 为正，顺吋针旋转为负，设定1/4波片的快轴（FA）倾 斜+45度，设线偏振光的电矢量E与P轴的夹角为0。 JI 则出射光为振幅为亍￡,相位差为亍2叫=＜。＜ 注意：等幅椭圆偏振光和圆偏振光的区别，等幅椭圆偏振光是指在P轴和S 轴方向幅度相同的偏振光，圆偏振光是指在各个方向幅度都相同的偏振光。 此时有閉卜故 改变起偏器方位角。使几=0或兀，这时反射光为线偏振光， 、 7T （ 兀、 △ = 0「一0, =0（或龙）一（2。——）或20 + — 2（ 2丿 因此可以通过测量0来确定△,而妙只与反射线偏振光的电矢量振动方向有 关，口J通过检偏器的方位角0來测定妙（0在第一象限时，心，在第四象限 时，屮=一 0 ）。 由此可见问题得到了大大的简化。 二.迈克尔逊干涉仪测量薄膜厚度与折射律 思路： 边氏干涉仪产生干涉条纹的原理等效于以M2 为上下表而的空气层的等倾薄膜干涉。 干涉条纹的明暗决定于光程差与波长的关系，用口 光照明时，只冇在d=0的附近才能在M］、M\交线处看 到干涉条纹，这时对各种光的波长来说，其光程差均为彳 2 （反射吋附加）,故产生直线黑纹，即所谓的屮央条纹, 2 两旁有对称分布的彩色条纹。d稍人时，因对各种不同波 长的光，满足明暗条纹的条件不同，所产生的干涉条纹明暗互相重叠，结果就显 不岀条纹来。只有用白光才能判断出中央条纹，利用这一点可定出d=0的位置。 当视场屮出现屮央条纹Z后，在Mi与A之间放入折射率为n、厚度为/的 透明物体，则此时程差要比原来增大 △厶=2心-1) 因而屮央条纹移出视场范围，如果将M］向A前移d, = —,则屮央条纹会 2 重新出现，测出d,可由下式 d = /（/?-1） 若已知/可求出折射率n；若已知n,可求OH。 这两个实验所要测的物理量（薄膜厚度和折射律）都是不易直接测量的量, 厚度如果直接用测量长度的工具（譬如千分尺）测的话，由于薄膜本身很薄，所 以由仪器精确度造成的相对误差太大；折射率如果利用折射定律来测量，那么角 度的测量将会成为限制精度的最大因素。 而这两个实验都进行了巧妙的转化，间接测量，大大提高了实验精度。在 椭偏仪的实验屮，寻找岀了 认与鸭、A的函数关系，而鸭、△是可以通过椭偏 仪精确测量的，比如。可根拯光强最小来判断，而光强可以通过光电倍增管以数 字的形式显示出来，既直观又精确。在迈氏干涉仪的实验屮，一方面仪器的精度 比较高，另一方面实验现象比较明显（视场中央岀现中央条纹），很容易确定位 置，从而较精确的计算出d。 因此，在以后的学习和工作屮，如呆遇到要测量一个直接测起来误差很大 或不易