电镜知识第二章中科大.pptVIP

肖特基场发射电子枪 肖特基场发射：在高真空环境中，用高压电场和高温使阴极尖端产生的电子发射过程。 肖特基场发射阴极要加热到约1580℃。肖特基场W阴极单晶尖端为100取向，表面有一层氧化锆，以降低电子发射的功函数。钨尖常年加热，氧化锆层会消耗，通常2年需要更换。 优点： 束流大（亮度为108 ）、束流稳定、 可以连续工作。一般半导体工厂在线检测都用热场发射SEM。 多功能分析：可配EBSD、WDS、EDS、CL等附件。 SEM中的磁透镜 SEM中的磁透镜用作聚光镜、物镜，就是将cross-over的电 子像缩小为样品上的最终 束斑直径（1-20nm）。 SEM中使用的电磁 透镜，产生的是轴旋转 对称的非均匀磁场，形 成会聚场。 如图：Hr和Hz合成磁场作用，使电子在穿过透镜中心孔时被旋转聚焦，会聚于光轴上，这与光学透镜类似。 无象差时样品上的束斑直径： 电子光学系统中的象差 1.球差：在透镜磁场中，球差是由于远离光轴运动的电子比近轴区域运动的电子收的更强的偏转的缘故。 2.色差：电压E0的变化或者磁场强度Ｈ的波动都会改变物点出射电子的聚焦点位置。 ３.衍射差：电子波动和物镜光阑引起的衍射效应造成的。 ４.象散：是由于物镜的磁场不是完全的轴对称做引起的。 有效束斑直径 dP=(dG2+dS2+dC2+dd2) ? ds是球差、dc是色差、dd是衍射差 扫描电镜中几种物镜的设计 传统扫描电镜物镜 浸没式物镜 半浸没式物镜 复合物镜 （磁透镜+静电透镜） 小结 电子光学系统的设计，要保证电子束的尺寸尽可能的小，且能获得最大亮度。透镜要求有极小的象差。但是透镜成像均有缺陷，这就是象差的概念。电磁透镜主要有球差、色差、衍射差、象散四种。 扫描电子显微分析技术 2010年3月 李凡庆 扫描电镜的应用范围 1、金属、陶瓷、矿物、水泥、半导体、纸张、塑料、食品、 农作物和化工产品的显微形貌、晶体结构和相组织的观察与分析。 2、各种材料微区化学成分的定量检测。 3、粉末、微粒、纳米样品形态观察和粒度测定。 4、机械零件与工业产品的失效分析。 5、镀层厚度、成分与质量评定。 6、刑侦案件物证分析与鉴定。 7、新材料性质的测定和评价。 8、在生物、医学和农业等领域也有广泛的应用。 扫描电镜的特点 扫描电镜分辨率高 放大倍率宽 图像景深好 样品制备简单 综合分析能力强 在很多领域得到广泛应用。 1、扫描电镜分辨率高 人眼分辨率为：0.2mm 使用1000倍的显微系统， 分辨率可达200nm 传统扫描电镜分辨率为：3nm 场发射扫描电镜分辨率为：1nm 分辨率可达0.8nm甚至0.4nm的扫描电镜已问世 2、放大倍率宽 放大倍率可从几倍到几十万倍 扫描电镜的放大倍率M=L/l L是荧光屏的长度，l 是样品实际扫描的长度 3、图像景深好 放大几千倍图像的景深为几十微米，放大几万倍图像景深为几微米。 4、样品制备简单 块状样品、粉末状样品、纤维状样品、生物样品、薄膜样品等等均可观察。 5、综合分析能力强 扫描电镜的样品室较大，可选用多种附件，对样品进行综合分析。如：背散射附件（BSE）、能谱附件（EDS）、波谱附件（WDS）、阴极荧光附件（CL）、背散射电子衍射花样附件（EBSD）、拉伸台、加热台、冷台、扫描透射附件、四探针等等。 获取样品的形貌、成分及分布、晶体结构、物性等信息。 花粉 知了翅膀 蝴蝶翅膀 蝴蝶翅膀局部放大 神经元 昆虫头部 截面样品倾斜观察 昆虫 BSE电子图像 BSE电子图像 二次电子图像 扫描透射加背散射和能谱附件分析碳管中含铁样品 O元素在稻壳中的面分布图 Si元素在稻壳中的面分布图 多层金属膜的能谱分析——面分布和线扫描图 背散射电子衍射花样图 单根Pt纳米柱性能测量 小结 显微镜是一种放大工具，可以把微观世界展现到人眼分辨率可以接收的程度。显微镜分辨率是最重要的指标，受到照明光源波长的限制，波长越短，分辨率越高。电子显微镜就是源于这个理念，利用波长极短的高能电子束代替可见光作为照明源，与电磁透镜组合，构成高分辨率和高放大倍