制造技术第3章-微细加工技术.pptVIP

3.2.2 离子束加工技术 (3)离子束注入加工 中国农业大学 3.2.2 离子束加工技术 (4)离子束曝光加工 离子束曝光的优点是有高灵敏度和高分辨率。由于离子质量远大于电子，在基片上产生背散作用小，引起的邻近效应也小，因此能够对线宽小于0.1μm的精密微细图形曝光。同时，由于离子直径、质量比电子大，射人抗蚀剂后受到的阻力也大，离子在抗蚀剂层内的射程也短，离子能量能被抗蚀剂充分吸收，这就提高了抗蚀剂的灵敏度 中国农业大学 3.2.3 激光束加工技术 1、激光的产生及特性 激光是一种光，它是通过原子受激辐射发光和共振放大而形成的。 中国农业大学 3.2.3 激光束加工技术 激光特有的特性： (1)强度高、亮度大 (2)单色性好，波长谱线宽度狭窄 (3)相干性好，相干长度长 (4)方向性好 中国农业大学 3.2.3 激光束加工技术 2．激光加工的机理 3．激光加工设备 激光加工设备主要由激光器、电源、光学系统和机械系统等组成 中国农业大学 3.2.3 激光束加工技术 激光器 中国农业大学 3.2.3 激光束加工技术 4、激光加工的特点及其应用 (1)加工精度高 (2)加工材料范围广 (3)加工性能好 (4)加工速度快、效率高 (5)价格昂贵 中国农业大学 3.2.3 激光束加工技术 5、激光加工方法 (1)激光打孔 (2)激光切割 (3)激光焊接 (4)激光微调 (5)激光表面特性 (6)激光存储 中国农业大学 3.2.3 激光束加工技术 （5）激光表面特性 （6）激光存储 中国农业大学 3.2.3 激光束加工技术 6、准分子激光加工技术 (1)准分子激光概述 准分子激光波长极短，聚焦光斑直径能达到微米量级。功率虽相对较小，但由于光子能量高、发散角小、所以功率密度却很大。 准分子激光直写为微细加工技术提供了一个新的发展方向。它将激光技术、CAD/CAM技术、材料科学及微细加工技术有机地结合起来，利用高分辨率的准分子激光束结合数控技术直接在硅片等基体上刻出微细图形，或直接加工出微型结构。 中国农业大学 3.2.3 激光束加工技术 中国农业大学 (2)准分子激光直写微细加工 1)聚焦准分子激光直接刻蚀硅材料 3.2.3 激光束加工技术 中国农业大学 2)准分子激光辅助刻蚀硅材料 3.2.4 光刻加工技术 中国农业大学 光刻加工称光刻蚀加工或刻蚀加工，简称刻蚀。 光刻加工可分为两个加工阶段，第一阶段为原版制作，生成工作原版或工作掩膜，为光刻加工时用；第二阶段为光刻。 3.2.4 光刻加工技术 中国农业大学 原版制作 光刻 3.2.5 体刻蚀加工技术 中国农业大学 可以制作不同的结构，如桥、梁、薄膜等。利用体微加工制造的晶片，可用粘结技术或其他互连技术进行连接，从而形成复杂的三维结构。 * 第1章 绪论 第2章 制造自动化技术 第3章 微细加工技术 第4章 快速原型技术 第5章 工业机器人 第6章 虚拟制造技术 第7章 纳米技术 第8章 压电驱动与控制技术 第9章 绿色制造技术 第3章 微细加工技术 中国农业大学 先进制造技术 第3章 微细加工技术 3.1 微机械及微细加工技术的概念与特点 3.2 微细加工的工艺方法 3.3 大规模集成电路的制作技术 3.4 微细加工技术的研究现状和发展趋势 3.6 微细加工技术的应用 中国农业大学 3.5 微细加工技术的关键技术 3.1 微机械及微细加工技术的概念与特点 3.1.1 微机械及其特征 3.1.2 微加工技术的概念与特点 中国农业大学 3.1.1 微机械及其特征 微型机械在美国常称为微型机电系统MEMS(MicroElectro Mechanical System)，在日本称为微机械（Micromachine）,欧洲则称为微系统（Micro-System）。 中国农业大学 1、微机械的概念 微机电系统 微电子机械系统（MEMS）是近年来发展起来的一种新型多学科交叉的技术。 3.1.1 微机械及其特征 微型机械其最明显的特征是：由于几何尺寸的微型化，表面积与体积之比将变大。 中国农业大学 2、微机械的特征 3、微机械发展的现状 微型机械在现实世界中出现只不过10年左右的时间，已成为一个新兴的、边缘性的高技术学科领域。 3.1.1 微机械及其特征 中国农业大学 4、微机械的主要研究方向 5、微机械研究中的关键问题 (1)微型传感器与控制技术研究 (2)材料科学方面 (3)基础科学方面 (4)驱动技术 、 (5)研究将电能转变为大变形能的固体材料或复合材料。 (6)微型机构 (7)微型加工和装配技术 3.1.1 微机械及其特征 中国农业大学 6、微机械的优点