精密测量理论与技术基础第7章 长度量测量1.pptVIP

绝对测量 绝对测量 激光干涉仪 激光波长作为长度基准 激光波长稳定，无需校准 激光波长非常短，测量分辨力高 激光具有干涉特性 激光干涉仪 迈克尔逊：（1852 -1931）,美国物理学家。设计了至今仍应用广泛的迈克尔逊干涉仪。荣获了1907年度的诺贝尔物理学奖 激光干涉比长仪 反射镜 固定角锥棱镜 可动角锥棱镜 移相板 分像棱镜组 光电显微镜 工作台 光电探测器 放大整形电路 计算机 光电探测器 差动放大电路 触发器 激光器 平行光管 反射镜 分光器 采用激光干涉原理 实现线纹尺和光波波长比较 激光干涉仪 单频激光干涉仪 只能进行直流放大器，而不能使用交流放大器 外界干扰使干涉信号强度降低，落于计数触发电平之下 外差干涉仪 测量镜静止时，光电探测器的输出信号为载波频率的交流信号 测量镜运动时，输出信号的频率只在某一范围内增加或减少 采用交流放大，隔绝外界环境干扰造成的直流电平漂移 激光干涉仪 外差干涉仪 载波信号产生方法：使参与干涉的两束光产生一个频率差，这样的两束光干涉会产生“光学拍”现象，转化为电信号得到差频信号。 “光学拍”干涉条件：两个振幅相同，振动方向相同，且在同一方向传播，频率接近的两单色光叠加 。 多普勒效应：产生和被测位移信息相关联的频移，并通过载波信号传递。 双频激光干涉仪 绝对测量 各种工具显微镜 (Microscope) 第二节 长度尺寸的测量 一、直接测量 1. 绝对测量 激光干涉仪 工具显微镜 2. 相对测量 立式接触式干涉仪 电容传感小孔径测量仪 二、间接测量 1. 坐标测量法 2. 弓高弦长法 3. 激光衍射测量法 三、原位测量 相对测量 采用相对测量法的仪器测量得到的量值是被测量和定值标准量的差值 * 第七章 长度量测量 第一节 概述 第二节 长度尺寸测量 第三节 坐标测量 第四节 形位误差测量 第五节 表面粗糙度测量 第六节 微纳尺度测量 第一节 概述 长度单位和定义 长度量值传递系统 长度测量的标准量 长度测量的基本原则 长度测量的标准测量环境 米的定义 1791年，法国国民议会决定采用经过巴黎的地球子午线自北极到赤道这一段弧长的一千万分之一 为长度单位，选取古希腊文中metron一词作为这个单位的名称，后来演变为meter，中文译成“米突”或“米”。 1889年，冰点温度下米原器两端刻线间的距离 —— “国际米原器” 米的定义 1927年第7届国际计量大会决定用自然镉（Cd）的红色谱线作为光谱学的长度标准，确定1米＝1553164.13λ 1960年，在第11届国际计量大会上，决定用氪(86Kr )橙线代替镉红线，并决定把米的定义改为：86Kr 原子的2p10 和 5d5能级之间跃迁所对应的辐射在真空中的波长 (0.6057 μm) 的1,650,763.73倍 1983年10月第17届国际计量大会通过了米的新定义：光在真空中于1/299 792 458 秒的时间间隔内所行进的路程长度 米的复现 国际计量委员会推荐米可以通过时间法、频率法和辐射法来复现 1993年国际计量委员会推荐了8种稳频激光器辐射的标准谱线频率（波长）值，作为复现米定义的国际标准。目前，我国常用的是碘吸收633nm氦氖激光器 中国计量科学研究院研制的碘稳频633nm激光器 长度量值传递系统 把测得的尺寸与基准长度联系起来，以保证长度量值的统一和准确，这种联系渠道称为量值传递系统 量值传递的基本方法：高一级准确度的仪器设备对低一级准确度的仪器设备进行量值传递 激光波长 量块 线纹尺 量具 测量仪器 被测工件 长度量值传递系统 高一级准确度 低一级准确度 长度测量的标准量 光波波长 He-Ne: ?=632.8nm 线纹尺刻度、量块的长度 光栅、容栅的栅距 精密丝杠的螺距 线纹尺 用金属或玻璃制成的、表面上准确地刻有等间距平行线，也称刻线尺。 线条间距：1毫米或0.1毫米。 规格：100、200、300、500和1000毫米。 基准线纹尺的允许检定误差为±0.2微米／米；工作线纹尺的刻线准确度可达±1微米／毫米。 量块是应用最广泛的实物基准之一。量块经常用于长度尺寸的检定和相对测量。国家标准对量块的材料、形状、表面粗糙度以及中心尺寸长度的制造误差、检定不确定度均有明确的规定。 量块成套制造和出售，每套量块的总块数有91、83、46等十多种，不同套别中量块的尺寸也不相同。 量