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现代电子显微分析技术 傅茂森 2015 第二章 电子与物质的相互作用 入射光 相互作用 观察者 可见光 光反射折射 双目镜 ? ? M B N d(h k l) 3 2 1 ? (b) ( ) 2 sin hkl hkl d n ? ? ? X 射线衍射 X 射线 电子计数器 样品 ( 厚 ) 电子与样品相互作用 入射电子 二次电子 背散射电子 可见光 特征 X 射线 俄歇电子 吸收电子 透射电子 非弹性散 射电子 弹性散射电子 样品 ( 薄 ) 轫致辐射 X 射线 3.1 电子的弹性散射 电子的散射： 电子与物质的 原子核与核外电子 发生相互作用，使入射电子的 方向或能量改变 ，有时还发生 电子消失、重新发射或产生别种 粒子、改变物质性态 等现象，这种现象统称为 电子的散射 电子的弹性散射： 电子与物质发生相互作用，仅 方向改变而能量不变 电子的非弹性散射： 电子与物质发生相互作用， 方向与能量均发生变化 3.1.1 卢瑟福散射理论 将原子核对电子的相互作用与核外电子的相互 作用看成两个完全孤立的独立过程， 忽略核 外电子对核的屏蔽效应 单原子引起电子束偏转示意图 a. 原子核对入射电子的弹性散射 b. 核外电子对入射电子的非弹性散射 原子核对入射电子的引力 : 2 2 r Ze F n ? ? 核外电子对电子的排斥力 : 2 2 r e F e ? 0 E r Z n n n ? ? 原子核的正电荷 入射电子的能量 瞄准距离 散射角 3.1.2 弹性散射角 ? 可以大于 90 o ? 弹性背散射电子 t V Z Z A e N N dN A 2 2 2 2 ) 1 1 ( ? ? ? ?? 3.1.3 电子弹性散射几率 ? : 物质的密度， N A : 阿佛加德罗常数， A: 原子量， V: 加速电压， Z: 原子序 数， ? : 散射角， t: 试样厚度 试样越薄（ t 越小），原子越轻（ Z 小），加速电压越高（ V 大），电子的散 射几率越小，穿透本领越大。 散射强度远大于 X 射线 (10 3 -10 4 倍 ) ， 穿透深度比 X 射线弱 3.1.4 电子弹性散射应用 ? 弹性散射下，各原子散射电子波相互干涉，使合成电子波的强度角分辨 率受到调制，产生电子衍射。衍射波振幅作为空间角分布函数就是试样内 部电场电势函数的付氏变换； ? 弹性衍射谱的强度以及经电子透镜完成的第二次付氏变换，可反映衬度 与试样电势分布成比例的高分辨结构像； ? 弹性散射是电子衍射谱和电子显微像的物理依据，可提供晶体结构及原 子排列信息。 3.2 电子的非弹性散射 核外电子 与入射电子的相互碰撞几乎 全是非弹性散射 ，入射电子 损失能 量 ， 大部分转变为热能 ，还可产生以下机制： 3.2.1 特征 X 射线 高能电子束 ? 原子内层 (K 层 ) ? 原子电离 ( 电子逸出，形成空穴 ) ? 外层向下跃迁 ? 发射特征 X 射线 1 k (z ) ? ? ? ? － 莫塞莱定律 成分分析 -EDS/WDS 3.2.2 二次电子 ? 入射电子与核外电子相互作用，使原子电离 ( 价带或导带 ) 失去电子，脱离原子 的电子称为二次电子； 1/ cos SE ? ? ? δ SE =I SE /I p （ I SE 为二次电子电流强度 ， I p 为入射束电流强度） ? 二次电子产额δ SE 与入射电子束相对于样品表面的入射角θ之间关系： ? 能量较低 (50eV) ， 仅样品表面 (5~10nm) 二次电子能够逸出表面； ? 当样品表面不平时，入射束相对于样品表面的入射角θ发生变化，二次电子 强度相应改变，可将样品表面形貌特征反映出来 表面形貌分析 -SEM/STEM 3.2.3 背散射电子 ? 背散射电子是 被固体样品反射回来的入射电子， 包括弹性背散射电子和非弹性 背散射电子。弹性背散射电子的能量几乎没有损失，而非弹性背散射电子的能量 有不同程度的损失 ; ? 能量较高 ( 等于或接近入射电子能量 ) ，逸出深度达几百 nm ； ? 背散射电子产额与原子序数相关，反应成分信息； ; 背散射电子 二次电子 ? 背散射电子产额与原子序数相关，反应成分信息，对形貌信息不敏感；